[实用新型]一种提高自身冷却及绝缘性能的励磁线圈

说明书

本实用新型涉及半导体单晶硅生产行业技术领域，一种提高自身冷却及绝缘性能的励磁线圈，其中铁芯主体为圆柱状，铁芯的外环面具有内侧绝缘环，玻璃丝包铜线、绝缘垫板和绝缘棒位于内侧绝缘环外环面处，且玻璃丝包铜线、绝缘垫板和绝缘棒形成绕线组，外侧绝缘环套装在绕线组的外部，内筒套装在外侧绝缘环的外部，外筒设置在内筒的外部，内筒和外筒之间形成冷却水腔；内筒冷却液进口和内筒冷却液出口均与绕线组所在腔室连通，内筒冷却液进口和内筒冷却液出口用于对绕线组降温。外筒上还设有外筒冷却液进口和外筒冷却液出口均与冷却水腔连通，外筒冷却液进口和外筒冷却液出口用于对绕线组以及内筒降温，通过双冷却结构有效对绕线组最大程度降温。

技术领域

本实用新型涉及半导体单晶硅生产行业技术领域，一种提高自身冷却及绝缘性能的励磁线圈。

背景技术

单晶电磁场的作用是：在单晶硅棒、单晶硅板等制造过程中，为其制造环境提供稳定的磁场环境，提高材料的性能指标。单晶电磁场主要由轭板，导磁板，极头，励磁线圈，冷却及吸湿系统等组成；国家现在非常注重新能源开发利用，尤其是高储能电池及太阳能电池等相关新兴行业，而单晶硅则是其中的重要部分；对于单晶硅制造过程中，提供可靠稳定的磁场是非常重要的。由于单晶电磁场的工作原理，在励磁线圈工作时，通电的铜线圈会产生热能，若冷却达不到理想效果，长时间工作会破坏线圈内部的绝缘层，从而破坏磁场的稳定性，造成不良的效果。

实用新型内容

为解决上述问题，一种提高自身冷却及绝缘性能的励磁线圈，有效对其工作中降温，同时设计的绝缘结构提高了线圈工作稳定性，为单晶硅制造过程提供平稳，可靠的磁场环境。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种提高自身冷却及绝缘性能的励磁线圈，包括铁芯、外筒、内筒、玻璃丝包铜线、绝缘垫板、绝缘棒、外侧绝缘环和内侧绝缘环，其中，所述铁芯主体为圆柱状，铁芯的外环面具有内侧绝缘环，所述玻璃丝包铜线、绝缘垫板和绝缘棒位于内侧绝缘环外环面处，且玻璃丝包铜线、绝缘垫板和绝缘棒形成绕线组，所述外侧绝缘环套装在绕线组的外部，所述内筒套装在外侧绝缘环的外部，外筒设置在内筒的外部，内筒和外筒之间形成冷却水腔；

所述外筒上设有内筒冷却液进口和内筒冷却液出口，且所述内筒冷却液进口和内筒冷却液出口均与绕线组所在腔室连通，所述内筒冷却液进口和内筒冷却液出口用于通过流通冷却油的方式对绕线组降温；所述外筒上还设有外筒冷却液进口和外筒冷却液出口，所述外筒上还设有外筒冷却液进口和外筒冷却液出口均与冷却水腔连通，所述外筒冷却液进口和外筒冷却液出口用于通过流通冷却水的方式对绕线组以及内筒降温。

作为优选的，所述内筒冷却液进口安装在外筒的侧壁的顶部，所述内筒冷却液出口安装在外筒底壁的位置。

作为优选的，所述外筒冷却液进口和外筒冷却液出口均安装在外筒的中部位置，且外筒冷却液进口和外筒冷却液出口与外筒的连接点以铁芯的轴心对称设置。

作为优选的，所述玻璃丝包铜线环形的多层结构，相邻两层玻璃丝包铜线之间安装绝缘垫板和耐高温绝缘棒，相邻两层玻璃丝包铜线通过绝缘垫板与耐高温绝缘棒隔开。

作为优选的，所述绝缘垫板与耐高温绝缘棒表面具有绝缘漆层。

作为优选的，所述相邻两层玻璃丝包铜线之间具有用于冷却油流通的缝隙。

作为优选的，所述绝缘棒和绝缘垫板交替设置，不同层玻璃丝包铜线之间绝缘棒数量相同，且不同层玻璃丝包铜线之间绝缘棒均以铁芯的轴心为中心等间距放射状设置。

作为优选的，所述绕线组中，玻璃丝包铜线和绝缘垫板的在铁芯轴向方向上的长度小于绝缘棒的长度，且玻璃丝包铜线和绝缘垫板与内筒内端面之间形成腔室。