[实用新型]蓝宝石测量平台磁悬浮式移动装置和蓝宝石测量装置

说明书

本实用新型涉及蓝宝石测量设备，提供一种蓝宝石测量平台磁悬浮式移动装置，包括基座、X向移动平台、承载蓝宝石进行测量的Y向移动平台、第一悬浮机构、第二悬浮机构、X向驱动机构和Y向驱动机构，X向移动平台位于基座和Y向移动平台之间，基座通过第一悬浮机构支撑X向移动平台，X向移动平台在X向驱动机构驱动下能够相对于基座沿X方向移动，X向移动平台通过第二悬浮机构支撑Y向移动平台，Y向移动平台在Y向驱动机构驱动下能够相对于X向移动平台沿Y方向移动。本实用新型还提供一种包含有该蓝宝石测量平台磁悬浮式移动装置的蓝宝石测量装置。本实用新型蓝宝石测量平台磁悬浮式移动装置能够平稳的移动测量平台，测量数据不受跳动影响。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石测量设备，具体地，涉及一种蓝宝石测量平台磁悬浮式移动装置。另外，本实用新型还涉及一种蓝宝石测量装置。

背景技术

蓝宝石(Sapphire)晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能，广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、窗口材料，因为其具有良好的抗辐射性能，常被用于航空航天中暴露在辐射环境中的光学元件材料以及智能手机显示屏、Home键、摄像头保护盖等消费电子产品领域。

在蓝宝石的生产过程中，需要将蓝宝石放在测量平台上进行测量，通过移动测量平台以测量蓝宝石不同部位。传统的平台的移动装置采用导轨滑块配合，使用伺服电机驱动，进行前后左右移动，在移动过程中由于存在机械摩擦，产生的阻力会导致测量平台的跳动(3-5um)，伺服电机驱动也会因为阻力产生移动位置的偏差。且由于传统的平台移动装置使用的是导轨滑块，需要定期保养，随着时间的增加，会产生磨损，导致精度降低，在保养时使用的润滑油也会造成蓝宝石的脏污。

因此，需要提供一种移动装置以解决上述现有技术存在的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石测量平台磁悬浮式移动装置，该蓝宝石测量平台磁悬浮式移动装置在移动时，测量平台平稳，确保测量数据不受测量平台跳动影响，且长时间的使用不会导致精度的降低，无需保养，不会对产品造成污染。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种蓝宝石测量平台磁悬浮式移动装置，包括基座、X向移动平台、承载蓝宝石进行测量的Y向移动平台、第一悬浮机构、第二悬浮机构、X向驱动机构和Y向驱动机构，所述X向移动平台位于所述基座和所述Y向移动平台之间，所述基座通过所述第一悬浮机构支撑所述X向移动平台，所述X向移动平台在所述X向驱动机构驱动下能够相对于所述基座沿X方向移动，所述X向移动平台通过所述第二悬浮机构支撑所述Y向移动平台，所述Y向移动平台在所述Y向驱动机构驱动下能够相对于所述X向移动平台沿Y方向移动。

具体地，所述第一悬浮机构和所述第二悬浮机构的结构一致，包括导轨和与所述导轨相配合的支架，所述导轨为“工”字导轨，所述导轨的上臂的底面设有第一磁铁，所述支架设有与所述第一磁铁相互磁性作用的悬浮电磁铁，以使所述支架相对于所述导轨悬浮；所述基座上安装有对应的所述导轨，所述支架安装在所述X向移动平台的底面，以使所述X向移动平台相对于所述基座悬浮；所述X向移动平台上安装有对应的所述导轨，所述支架安装在所述Y向移动平台的底面，以使所述Y向移动平台相对于所述X向移动平台悬浮。

具体地，所述导轨的上臂两外侧面设有第二磁铁，所述支架的两内侧面设有与第二磁铁相互磁性作用的导向电磁铁，以使所述支架在所述导轨的长度方向上不偏移。

优选地，所述基座与所述X向移动平台之间以及所述X向移动平台与所述Y向移动平台之间均采用双导轨结构。