[实用新型]一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置

说明书

本实用新型公开了一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，包括基座，基座上端设有样品固定部以及设置于样品固定部一侧的样品切割部；样品固定部包括用于放置样品挡板的挡板放置槽，挡板放置槽上方设有用于固定样品挡板的挡板固定块；样品切割部包括与基座滑动连接的刀片固定架，刀片固定架靠近样品固定部的一侧设有刀片，刀片与刀片固定架上下滑动连接，刀片位于挡板放置槽上方，本实用新型的装样器，能有效减弱挡板与待测样品的间隙，精准控制样品的凸出量，预处理切面整齐，使得样品前处理操作简单，制样方便，能有效提高样品离子束截面抛光的效率，提高仪器使用效率，样品截面抛光效果变得更好，有利于样品截面表征的精准性。

技术领域

本实用新型涉及离子束抛光测试领域，具体是一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置。

背景技术

氩离子束截面抛光是一种广泛应用于材料截面加工处理的技术，其机理即是根据离子束溅射原理进行去除加工。相对于其他较常见的材料表面抛光技术，如机械抛光，离子束抛光惰性气体中进行，无氧化、无脱碳，加工精度可以达到原子量级以上，加工环境稳定，抛光后的材料表面几乎不发生变形，表面质量良好。这些优势也使得离子束抛光技术在各个行业得到广泛应用，如半导体，锂电等。

针对锂电领域，离子束抛光处理后的材料样品结合扫描电子显微镜等可进行材料表征，失效分析等。如氩离子抛光可用于正负极极片，经截面处理后，用于观测极片截面颗粒破碎，活性物质的分布，集流体厚度等，能更加清晰的表现极片的真实性能。电池充放电循环后的极片截面抛光处理后分析，对研究电池内部发生的反应过程有很大的帮助。

常用的离子束抛光方法是以挡板切割法，即用金属挡板遮挡部分离子束，产生一个切割区域，此种方法近乎无损伤制样，抛光处理后的样品具有绝佳的深度分别率。例如针对锂电领域的材料，如正负极片，隔膜，集流体等，样品的前处理结果对抛光效果有很大影响，主要表现为样品在挡板上的凸出量，样品与挡板的贴合程度以及样品预切面的整齐度，这些都是影响抛光效率与效果的主要因素。因此，提供一种适用于样品装样器装置会对提高样品抛光效果有极大的帮助。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种适用于氩离子束抛光的样品装样器装置，包括基座，所述基座上端设有样品固定部以及设置于所述样品固定部一侧的样品切割部；

所述样品固定部包括用于放置样品挡板的挡板放置槽，所述挡板放置槽上方设有用于固定样品挡板的挡板固定块；

所述样品切割部包括与所述基座滑动连接的刀片固定架，所述刀片固定架靠近所述样品固定部的一侧设有刀片，所述刀片与所述刀片固定架上下滑动连接，所述刀片位于所述挡板放置槽上方。

作为本实用新型进一步的方案：所述挡板固定块至少一个紧固螺丝与所述基座可拆卸连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述挡板放置槽的长度不小于样品挡板的长度。

作为本实用新型进一步的方案：所述挡板放置槽的长度比样品挡板的长度长5CM。

作为本实用新型进一步的方案：所述基座上设有两条平台布置的导轨，所述导轨上滑动连接有滑块，所述刀片固定架固定连接于所述滑块上端。

作为本实用新型进一步的方案：所述刀片通过推进装置与所述刀片固定架上下滑动连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述刀片固定架上设有上下方向布置的第一刻度，所述基座上设有水平方向布置的第二刻度。