[实用新型]CVD设备支撑轴动密封结构及CVD设备

权利要求书

1.一种CVD设备支撑轴动密封结构，其特征在于，包括：

支架；

水冷套，立式地安装在CVD设备的炉门下端；

密封部，安装在水冷套的下端，该密封部包括自润滑密封件；

其中，密封部用于坩埚支撑轴的导引密封，水冷套的套管用于坩埚支撑轴穿过而进入CVD设备的真空腔室。

2.根据权利要求1所述的CVD设备支撑轴动密封结构，其特征在于，所述自润滑密封件为聚四氟乙烯或改性聚四氟乙烯密封件。

3.根据权利要求2所述的CVD设备支撑轴动密封结构，其特征在于，所述自润滑密封件包括用于与水冷套连接的骨架，以及装设在骨架上的由聚四氟乙烯或改性聚四氟乙烯构造的密封环，而形成骨架轴封。

4.根据权利要求2或3所述的CVD设备支撑轴动密封结构，其特征在于，所述密封部为复合密封部，该复合密封部还进一步包括迷宫密封部；

迷宫密封部位于自润滑密封件的上侧。

5.根据权利要求4所述的CVD设备支撑轴动密封结构，其特征在于，迷宫密封部或者自润滑密封件各自为单级或两级密封。

6.一种CVD设备，其特征在于，包括如权利要求1~5任一所述的CVD设备支撑轴动密封结构；所述CVD设备还包括：

真空腔室，安装在所述支架上，下端与所述密封部连接；

坩埚，位于真空腔室内，承持在所述坩埚支撑轴的上端；

工作气配气系统，配装于所述真空腔室；

抽真空设备，配装于所述真空腔室；

旋转机构，输出连接所述坩埚支撑轴，以驱动坩埚支撑轴旋转；

升降机构，升降机构的升降部件作为旋转机构的安装基体，借以驱动坩埚支撑轴升降；

其中，坩埚支撑轴为水冷管轴。

7.根据权利要求6所述的CVD设备，其特征在于，所述升降机构为丝母丝杠机构，该丝母丝杠机构的丝杠螺母拖动一拖板；

所述旋转机构安装在所述拖板上。

8.根据权利要求7所述的CVD设备，其特征在于，为所述拖板在丝母丝杠机构的丝杠两侧各配置一个导引副；

拖板自丝杠螺母侧相对于丝母丝杠机构向外悬伸，拖板下表面具有支撑加强板。

9.根据权利要求8所述的CVD设备，其特征在于，所述导引副为：

第一结构：导杆导套副；

第二结构：燕尾槽导轨副。

10.根据权利要求8或9所述的CVD设备，其特征在于，导引副与升降机构分居于丝杠两侧。