[实用新型]晶粒筛选器、筛选清洗机构及设备有效

专利信息
申请号: 202123037140.0 申请日: 2021-12-06
公开(公告)号: CN217306447U 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 焦丹钧;钱林春;刘宗帅;王超 申请(专利权)人: 江苏汀普微电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B11/00;B08B3/04;B07B1/28
代理公司: 扬州启达知识产权代理事务所(普通合伙) 32563 代理人: 周青
地址: 225000 江苏省扬州市高新技术开发区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 晶粒 筛选 清洗 机构 设备
【权利要求书】:

1.晶粒筛选清洗设备,其特征是,包括晶粒筛选清洗机构以及旋转机构,通过旋转机构使晶粒筛选清洗机构发生摇摆,便于晶粒的筛选和清洗;

所述晶粒筛选清洗机构包括晶粒筛选器以及用于盛放清洗液的容器,所述晶粒筛选器置于所述容器内;

所述晶粒筛选器包括筛选器筒体以及多层筛盘,多层筛盘由上而下平行布置于筛选器筒体内腔,且多层筛盘的网眼孔径由上自下依次变小。

2.根据权利要求1所述的晶粒筛选清洗设备,其特征是,所述旋转机构包括:

底座,用于支撑所述晶粒筛选清洗机构;

基座,用于支撑整个旋转机构;

支架,设有两根,并相对布置,用于支撑底座;所述底座通过转轴与两根支架转动连接;

驱动电机,安装于支架,驱动连接所述转轴,继而驱动整个底座旋转,以使晶粒筛选清洗机构摇摆。

3.根据权利要求2所述的晶粒筛选清洗设备,其特征是,所述底座设有夹持结构,用于固定晶粒筛选清洗机构的容器。

4.根据权利要求1所述的晶粒筛选清洗设备,其特征是,所述筛选器筒体的内壁设有若干组均匀且竖向布置的滑轨,所述筛盘设有与对应滑轨匹配的滑块;

所述滑轨的入口端均位于筛选器筒体内壁顶端,滑轨的末端位于筛选器筒体内壁对应筛盘处。

5.根据权利要求4所述的晶粒筛选清洗设备,其特征是,所述筛盘具有网状的侧挡板,该侧挡板与对应筛盘的网眼孔径相同。

6.根据权利要求4所述的晶粒筛选清洗设备,其特征是,所述筛选器筒体上下敞口,底部延伸有台阶,用于搁置最下层筛盘。

7.根据权利要求6所述的晶粒筛选清洗设备,其特征是,所述筛选器筒体的外侧壁设有对称布置的吊耳,所述容器内侧壁设有与吊耳匹配的滑槽;通过吊耳与滑槽匹配,将筛选器筒体安装于所述容器内。

8.根据权利要求7所述的晶粒筛选清洗设备,其特征是,所述容器的内腔底部设有多根支撑柱,用于支撑筛选器筒体底部。

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