[实用新型]一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构

说明书

本实用新型公开了一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构，包括壳体及设于壳体内的准直透镜组、汇聚透镜、DMD芯片组件，其特征在于，照明调节机构还包括有均活动安装于壳体内的第一反射镜和第二反射镜，经过所述准直透镜组的光依次经过所述第一反射镜、所述汇聚透镜及所述第二反射镜，准确地被传递至所述DMD芯片组件中；本实用新型中提供了一种激光投影镜头模组的多位可调的照明调节机构，不仅提高了折叠光路的可调节范围，还有效避免了外界空间限制对于投影镜头模组的影响，在安装使用空间受到限制的时候依旧可以通过调整单独的反射镜来实现折叠光路的调整，让光线最终被传递至DMD芯片组件中，大大提高了曝光机的调试效率和工作效率。

技术领域

本实用新型具体涉及光学技术领域，具体涉及一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构。

背景技术

在微电子、光学、线路板等微加工领域，紫外曝光机具有非常重要的应用。传统掩膜式曝光机使用的是大尺寸平行紫外光源加掩膜的曝光形式。而目前现有无掩膜曝光机采用的是光源、光源准直系统、DMD芯片组件以及投影模组的结构，上述结构能够采用反射镜来折叠光路，用以减小曝光机的体积，并控制反射的光对准DMD芯片组件，但这要求反射镜及透镜的安装精度要非常的高，且适用范围也小；虽然可以设置单个可调节的反射镜，用以调整光线来对准DMD芯片组件，但在外界复杂的使用情景下，单个的可调节反射镜往往无法满足复杂多变的使用需求，适用范围同样不大，特别在安装使用空间受到限制的时候，单个的可调节反射镜也非常容易受到限制，导致难以调节或调节范围变小，非常不利于无掩膜曝光机的调试和使用。

实用新型内容

本实用新型为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。

一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构，包括壳体及设于壳体内的准直透镜组、汇聚透镜、DMD芯片组件，所述照明调节机构还包括有均活动安装于所述壳体内的第一反射镜和第二反射镜，经过所述准直透镜组的光依次经过所述第一反射镜、所述汇聚透镜及所述第二反射镜，准确地被传递至所述DMD芯片组件中。

进一步的，所述第一反射镜包括第一镜片及第一安装块；所述第一镜片固定于所述第一安装块上；所述第一安装块通过紧固件活动安装于所述壳体内。

进一步的，所述第二反射镜包括第二镜片及第二安装块；所述第二镜片固定于所述第二安装块上；所述第二安装块通过紧固件活动安装于所述壳体内。

进一步的，所述紧固件与所述壳体螺纹配合。

进一步的，所述第一镜片与水平面呈锐角夹角。

进一步的，所述第二镜片与水平面呈锐角夹角，且与第一镜片相对。

进一步的，所述准直透镜组包括若干在一条直线上依次设置的准直透镜。

进一步的，所述第一镜片与所述第二镜片之间的连线和所述准直透镜组所在的直线垂直。

进一步的，所述准直透镜组的上方还连接有匀光棒。

进一步的，所述DMD芯片组件与所述第二反射镜之间还设有镜头窗口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型中提供的一种用于激光投影镜头模组的照明调节机构通过设有的两个可调节的反射镜，增加了折叠光路的可调节范围，即使是在空间受限的情况下，依旧可以通过调节不同的反射镜来调节折叠光路，减少了激光投影镜头模组受空间限制的影响，大大提高了激光投影镜头模组的调试效率和工作的效率，提高了设备的普适性，让设备可以应用于更多空间狭小受限的位置，同时叶降低了设备调试工作的难度。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明