[实用新型]用于铂金通道的加湿装置有效
申请号: | 202123046632.6 | 申请日: | 2021-12-06 |
公开(公告)号: | CN216404174U | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 李青;李赫然;韩征烨;胡恒广;张文亮;高志勇 | 申请(专利权)人: | 河北光兴半导体技术有限公司;北京远大信达科技有限公司 |
主分类号: | C03B7/02 | 分类号: | C03B7/02 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 李微 |
地址: | 050035 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 铂金 通道 加湿 装置 | ||
本公开涉及一种用于铂金通道的加湿装置,该加湿装置包括蒸汽罩(1)和加湿器(3),所述蒸汽罩(1)用于罩设在铂金通道(2)外,所述蒸汽罩(1)上形成有用于连通所述蒸汽罩(1)的内部与所述蒸汽罩(1)的外部的开口(11),所述开口(11)处设置有活动挡板(12),所述活动挡板(12)能够暴露或遮盖所述开口(11);加湿器(3)包括储水箱(31)和加热组件(32),所述储水箱(31)上形成有蒸汽出口(311),所述蒸汽罩(1)上形成有蒸汽入口(13),所述蒸汽出口(311)与所述蒸汽入口(13)连通,所述加热组件(32)用于加热所述储水箱(31)内存储的水溶液,以产生蒸汽。
技术领域
本公开涉及玻璃基板生产技术领域,具体地,涉及一种用于铂金通道的加湿装置。
背景技术
铂金通道是玻璃基板生产中的重要设备,需要将铂金通道设置在恒温恒湿间中来维持铂金通道所需的温度和湿度。当为铂金通道提供蒸汽的设备出现故障而无法维持铂金通道的湿度时,将会影响位于铂金通道内的玻璃液的品质,从而导致在后续工序中使用该玻璃液制成的玻璃基板中容易产生气泡,而使生产出的玻璃基板的废品率提高。
实用新型内容
本公开的目的是提供一种用于铂金通道的加湿装置,该加湿装置能够在为铂金通道提供蒸汽的设备出现故障继续维持铂金通道的湿度。
为了实现上述目的,本公开提供一种用于铂金通道的加湿装置,包括蒸汽罩和加湿器,所述蒸汽罩用于罩设在铂金通道外,所述蒸汽罩上形成有用于连通所述蒸汽罩的内部与所述蒸汽罩的外部的开口,所述开口处设置有活动挡板,所述活动挡板能够暴露或遮盖所述开口;所述加湿器包括储水箱和加热组件,所述储水箱上形成有蒸汽出口,所述蒸汽罩上形成有蒸汽入口,所述蒸汽出口与所述蒸汽入口连通,所述加热组件用于加热所述储水箱内存储的水溶液,以产生蒸汽。
可选地,所述储水箱上形成有通孔,所述加热组件包括加热丝和与所述加热丝连接的导线,所述加热丝穿过所述通孔并用于至少部分地浸没在所述水溶液中,所述加热丝与所述储水箱的内壁之间具有间隙,所述导线用于与供电电源连接。
可选地,所述通孔位于所述储水箱的侧壁上,所述通孔的高度低于所述蒸汽出口的高度,所述加热组件还包括密封盖,所述加热丝设置在所述密封盖上,所述密封盖用于与所述通孔的孔壁密封接触。
可选地,所述密封盖可拆卸地连接于所述储水箱。
可选地,所述通孔的孔壁沿所述通孔的轴向向外凸出于所述储水箱并形成环状连接部,所述密封盖包括密封主体和从所述密封主体的外周面径向向外延伸的环状凸缘,所述环状凸缘上形成有环形槽,所述环形槽能够与所述环状连接部卡接。
可选地,所述通孔为多个,多个所述通孔沿所述储水箱的高度方向间隔设置,所述加湿器还包括与多个所述通孔一一对应的多个堵头,所述堵头可拆卸地安装在所述通孔处。
可选地,所述储水箱上形成有补液口。
可选地,所述储水箱具有沿所述储水箱的高度方向延伸的透明可视部。
可选地,所述蒸汽入口为多个,多个所述蒸汽入口沿所述蒸汽罩的延伸方向间隔设置,所述加湿器为多个,多个所述加湿器与多个所述蒸汽入口一一对应设置。
可选地,所述蒸汽出口通过连接管道与所述蒸汽入口连通。
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