[实用新型]一种磁控溅射过渡室

说明书

本实用新型提供一种磁控溅射过渡室，包括：过渡室主体；多个第一转动辊设置于过渡室主体内壁的一侧，多个调节组件均设置于过渡室主体的内部，多个挤压组件均设置于多个调节组件的一侧，冷凝组件设置于过渡室主体内壁的底部，输送组件设置于过渡室主体的背面。本实用新型提供的一种磁控溅射过渡室，在过渡室主体内壁的底部设置冷凝组件可以将过渡室主体的内部空气冷却滑，在第一转动辊的表面设置调节组件配合挤压组件使用能够使织物与第一转动辊的接触面增大，在过渡室主体内壁的一侧设置输送组件能够将输送管内部的液体或者冷气输送至第一转动辊和第二转动辊的内部，有利于与织物接触时能对织物表面的水分进行去除。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射领域，尤其涉及一种磁控溅射过渡室。

背景技术

磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。

目前在进行织物磁控溅射的操作时需要使用放卷室、烘干室、前过渡室和后过度室组成，在前过渡室中使用冷却水管对织物进行冷凝操作。

现有的前过渡室中只使用冷却水管对织物进行冷凝操作，只能够对前过渡室内部的气体冷凝，但无法对织物的表面进行冷凝操作，从而造成织物通过前过渡室时容易造成织物表面残留水分无法去除，会影响后期的操作。

因此，有必要提供一种磁控溅射过渡室解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种磁控溅射过渡室，解决了现有的前过渡室对织物进行冷凝操作时只是用冷却水管难以对织物表面的水分直接去除的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种磁控溅射过渡室，包括：过渡室主体；

多个第一转动辊，多个所述第一转动辊从左至右依次设置于所述过渡室主体内壁的一侧，所述过渡室主体的内部且位于多个所述第一转动辊之间均设置有第二转动辊；

多个调节组件，多个所述调节组件均设置于所述过渡室主体的内部且位于多个所述第一转动辊相对的一侧；

多个挤压组件，多个所述挤压组件均设置于多个所述调节组件的一侧，所述挤压组件包括凹形板，所述凹形板的内部设置有滑动件，所述滑动件的一侧固定连接有弧形挤压板；

冷凝组件，所述冷凝组件设置于所述过渡室主体内壁的底部；

输送组件，所述输送组件设置于所述过渡室主体的背面。

优选的，所述调节组件包括滑杆，所述滑杆的表面套设有滑套，所述滑套的一侧固定连接有L形连接块，所述L形连接块的一侧固定连接有固定环，所述固定环的表面开设有环形槽，所述环形槽的内部滑动有滑动块，所述滑动块的一侧与所述凹形板表面的一侧固定连接。

优选的，所述冷凝组件包括放置盒，所述放置盒的内部设置有输送管，所述过渡室主体的底部且位于所述放置盒的下方固定安装有风扇。

优选的，所述放置盒的表面设置有滤板，所述过渡室主体表面的两侧均开设有输送孔。

优选的，所述输送组件包括连接管，所述连接管的一端通过连接件连接有十字管。

优选的，所述过渡室主体的表面设置有箱门。

优选的，所述第二转动辊的一侧设置有滑动组件，所述滑动组件包括十字滑动槽，所述十字滑动槽的内部滑动有滑块，所述滑块的一侧通过转动轴与所述第二转动辊的一端转动连接，所述第二转动辊表面的一侧设置有固定件，所述十字滑动槽的内部开设有与所述固定件相适配的固定槽。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种磁控溅射过渡室具有如下有益效果：