[实用新型]一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构

说明书

本实用新型提供了一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，包括胶泵、至少两个滴胶头以及与滴胶头对应数量的止逆阀，胶泵通过多通接头与止逆阀连通，止逆阀与滴胶头对应的连通，本新型的泵阀结构通过在泵口处添加止逆阀的方式来控制胶的流向以避免吐出的胶流入其他管路，从而实现解决了涂胶不均问题的目的，且实现了一泵多用。

技术领域

本实用新型涉及光电生产技术领域，具体涉及一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构。

背景技术

涂胶机属于微影制程中之重要仪器。光阻旋转涂布时，旋转载台的轴心将提供适当的真空度以吸附上方的晶圆，且带动晶圆旋转，让喷洒在晶圆上的光阻，因离心力而往晶圆外围移动，最后形成厚度均匀之光阻层。为了保证光阻层的均匀性，行业内的涂胶机均是一个胶泵控制一个滴胶头，若是让涂胶机上的一个胶泵对应多个滴胶头的，虽然能够减少成本，但是在一个滴胶头单独供胶时容易产生胶量不均的问题，例如，CND涂胶机的胶泵为一拖三模式，一个泵浦控制三个滴胶头工作，所以泵浦对其中一个滴胶头单独供胶时，会有一部分胶流入另外两个滴胶头的管路中，从而导致三个滴胶头吐出来的胶量均不精确。胶量的不精确会导致涂布在晶圆表面上的胶有多有少，致使晶圆涂胶不均而返工，影响晶圆的产能和生产成本。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，能够在保持一胶泵对多滴胶头的情况下保证出胶精确均匀。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，包括胶泵、至少两个滴胶头以及与所述滴胶头对应数量的止逆阀，所述胶泵通过多通接头与所述止逆阀连通，所述止逆阀与所述滴胶头对应连通。

进一步地，所述止逆阀与所述滴胶头之间设置有回吸阀。

进一步地，所述回吸阀与供气电磁阀之间管道上设置有三通接头，所述止逆阀与所述三通接头连通。

进一步地，所述止逆阀和所述三通接头以及所述回吸阀和所述三通接头通过直径为4mm的气管连接。

进一步地，所述止逆阀、所述回吸阀和所述滴胶头均包括三个，三个所述止逆阀通过四通接头与所述胶泵连通。

本实用新型的有益效果在于：在一带多的胶泵与滴胶头之间设置止逆阀，通过涂胶机的控制系统控制止逆阀，在滴胶头吐胶时控制其他未使用的滴胶头管路上的止逆阀开启，即可避免光刻胶流入其他未使用的滴胶头管路中，从而保证其他滴胶头各自胶量不受影响而实现胶量稳定，保证各个滴胶头出胶准确均匀。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构的连接示意图。

标号说明：

1、胶泵；2、四通接头；3、止逆阀；4、回吸阀；5、三通接头；6、滴胶头；7、电磁阀。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

请参照图1，一种改善涂胶机胶量不均的泵阀结构，包括胶泵、至少两个滴胶头以及与所述滴胶头对应数量的止逆阀，所述胶泵通过多通接头与所述止逆阀连通，所述止逆阀与所述滴胶头对应的连通。

从上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：在一带多的胶泵与滴胶头之间设置止逆阀，通过涂胶机的控制系统控制止逆阀，在滴胶头吐胶时控制其他未使用的滴胶头管路上的止逆阀使管路保持关闭，即可避免光刻胶流入其他未使用的滴胶头管路中，从而保证其他滴胶头各自胶量不受影响而实现胶量稳定，保证各个滴胶头出胶准确均匀。

进一步地，所述止逆阀与所述滴胶头之间设置有回吸阀。

进一步地，所述回吸阀与供气电磁阀之间管道上设置有三通接头，所述止逆阀与所述三通接头连通。