[实用新型]一种新型脚控多功能氮气吹扫装置

说明书

本实用新型提出了一种新型脚控多功能氮气吹扫装置，该装置包括：断路器、直流开关、第一电磁阀、第二电磁阀、氮气脚踏开关、真空脚踏开关、高压氮气接口、真空接口、氮气快速接头、真空快速接头、氮气吹扫枪头和真空枪头；断路器与直流开关连接，直流开关分别与氮气脚踏开关、真空脚踏开关、第一电磁阀和第二电磁阀连接；第一电磁阀还与氮气脚踏开关、高压氮气接口和氮气快速接头连接，第二电磁阀还与真空脚踏开关、真空接口和真空快速接头连接；氮气吹扫枪头与氮气快速接头连接，真空枪头与真空快速接头连接；本实用新型避免了使用镊子对元器件夹取不当造成的损坏，吹扫操作效率更高，提高了元器件可靠性以及成片率，具有较好的经济效益。

技术领域

本实用新型属于半导体领域，具体涉及一种新型脚控多功能氮气吹扫装置。

背景技术

半导体领域的光刻工艺中，虽然光刻前的每一步操作(氧化、掺杂等)都是在清洁区域完成的，但芯片表面有可能吸附一些颗粒状的污染物，大幅度降低可靠性。为确保光刻胶和晶圆表面能很好粘结，必须对表面进行微粒清除，使用高压氮气吹扫便是常用的微粒清除方法。

传统的操作通常是由氮气枪连接氮气源，工艺人员单手手持氮气吹扫枪，另一只手用镊子夹住芯片进行吹扫。这导致人体将长时间维持一个姿势，浪费人力，效率较低。同时，采用镊子夹取元器件边缘容易造成焊盘位的破坏，造成二次损伤，降低可靠性。

发明内容

为了解决现有技术问题，本实用新型提供了一种新型脚控多功能氮气吹扫装置；该装置包括：断路器1、直流开关2、第一电磁阀3、第二电磁阀4、氮气脚踏开关5、真空脚踏开关6、高压氮气接口7、真空接口8、氮气快速接头9、真空快速接头10、氮气吹扫枪头11和真空枪头12；断路器1与直流开关2连接，直流开关2分别与氮气脚踏开关5、真空脚踏开关6、第一电磁阀3和第二电磁阀4连接；第一电磁阀3还与氮气脚踏开关5、高压氮气接口7和氮气快速接头9连接，第二电磁阀4还与真空脚踏开关6、真空接口8和真空快速接头 10连接；氮气吹扫枪头11与氮气快速接头9连接，真空枪头12与真空快速接头10连接。

优选的，直流开关2包括24V+接线端和24V-接线端，24V+接线端分别与氮气脚踏开关5和真空脚踏开关6连接，24V-接线端分别与第一电磁阀3和第二电磁阀4连接。

进一步的，第一电磁阀3和第二电磁阀4均设置有正极接口和负极接口；其中，第一电磁阀3的负极接口连接24V-接线端，正极接口连接氮气脚踏开关 5；第二电磁阀4的负极接口连接24V-接线端，正极接口连接真空脚踏开关6。

进一步的，氮气脚踏开关5包括第一连接端口和第二连接端口，第一连接端口与24V+接线端连接，第二连接端口与第一电磁阀3正极接口连接。

进一步的，真空脚踏开关6包括第三连接端口和第四连接端口，第三连接端口与24V+接线端连接，第四连接端口与第二电磁阀4正极接口连接。

优选的，断路器1上设置有电源接口。

优选的，氮气吹扫枪头11和真空枪头12上均设置有调节阀。

优选的，新型脚控多功能氮气吹扫装置还包括箱体，箱体用于保护内部器件。

进一步的，箱体上设置有接线通孔。

本实用新型的有益效果为：本实用新型采用脚踏开关作为氮气吹扫的开关，使得控制氮气吹扫与真空吸附的通断更容易便捷，使工艺人员可以单手进行吹扫操作，节省体力，提高工艺效率；通过设置调压阀实现强度可调节的氮气吹扫枪头和真空枪头，本实用新型灵活性大，同时避免了使用镊子对元器件夹取不当造成的损坏，吹扫操作效率更高，同时，提高了元器件可靠性以及成片率，具有较好的经济效益。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。