[实用新型]一种易于调节的晶圆检测装置

说明书

本申请涉及晶圆检测技术领域，公开了一种易于调节的晶圆检测装置，包括基座，所述基座上表面滑动安装有检测台，所述检测台上表面旋转安装有转盘，所述基座一侧壁竖直固定有竖臂，所述竖臂顶端朝向基座的一侧水平固定有横板，所述横板下表面安装有光电探测器，所述竖臂朝向检测台的侧壁上设置有反光筒；所述检测台远离所述竖臂的一侧壁底部水平设置有滑轨，所述滑轨顶端通过支撑件安装有光源；所述基座上表面的一侧设置有驱动机构，所述驱动机构包括固定在所述基座上表面边侧的固定块，所述固定块上水平螺纹穿设有螺纹杆一。该易于调节的晶圆检测装置，方便晶圆的固定，且具有良好的调节性能。

技术领域

本申请涉及晶圆检测技术领域，尤其是涉及一种易于调节的晶圆检测装置。

背景技术

在半导体工艺中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一，如何清除晶圆表面的污染和异物质颗粒一直是半导体技术领域的研究热点，而在清洁之后如何对晶圆表面的清洁度进行检测也成为半导体技术人员关心的问题。

晶圆检测装置在申请过程中，发明人发现该技术中至少存在如下问题，光源发射的测量光角度固定，难以对不同尺寸的晶圆全方位检测，因此，需要进一步的改进。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种易于调节的晶圆检测装置，以解决上述背景技术中提出现有的光源发射的测量光角度固定，难以对不同尺寸的晶圆全方位检测的问题。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种易于调节的晶圆检测装置，包括基座，

所述基座上表面滑动安装有检测台，所述检测台上表面旋转安装有转盘，所述基座一侧壁竖直固定有竖臂，所述竖臂顶端朝向基座的一侧水平固定有横板，所述横板下表面安装有光电探测器，所述竖臂朝向检测台的侧壁上设置有反光筒。

通过上述技术方案，晶圆放在转盘上，检测光线照射在晶圆上后散射，随后通过反光筒反射后能够被光电探测器检测到，用于对晶圆的检测判定。

所述检测台远离所述竖臂的一侧壁底部水平设置有滑轨，所述滑轨顶端通过支撑件安装有光源。

通过上述技术方案，可调节光源距离晶圆的位置，达到调节测量光照射在晶圆上的位置的目的。

所述基座上表面的一侧设置有驱动机构，所述驱动机构包括固定在所述基座上表面边侧的固定块，所述固定块上水平螺纹穿设有螺纹杆一，所述螺纹杆一与所述检测台转动连接，所述螺纹杆一远离检测台的一端设置有转柄一。

通过上述技术方案，在检测时能够调节检测台的位置，便于散射的测量光更容易被光电探测器检测到。

优选的，所述检测台内部中空，且所述检测台内部顶壁上转动安装有从动齿轮，所述转盘的转轴穿过所述检测台顶壁与从动齿轮连接，所述检测台内部底壁上安装有电机，所述电机的驱动轴上安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述从动齿轮啮合。

通过上述技术方案，能够驱使转盘旋转，在检测时能够带动晶圆转动，实现对晶圆的全方位检测。

优选的，所述检测台内部底壁上水平设置有气筒，所述气筒的出气端连接有连接管，所述连接管远离气筒的一端活动贯穿从动齿轮，所述转盘上开设有与所述连接管连通的通孔，所述气筒的推杆上连接有推板，所述检测台内部顶壁上安装有电动推杆，所述电动推杆的伸缩端与所述推板连接。

通过上述技术方案，通过吸力能够快速将晶圆固定，且便于晶圆的取放。

优选的，所述支撑件包括滑动安装在滑轨顶端的滑块，所述滑块上表面竖直固定有固定臂，所述固定臂顶端活动穿设有活动臂，所述固定臂侧壁上螺纹穿设有固定扳手二，所述固定扳手二与所述活动臂抵接，所述活动臂顶端设置有安装块，所述光源安装在安装块上表面，所述安装块朝向所述检测台的一端面水平固定有连接板，所述连接板上表面安装有凸透镜。