[实用新型]PVD镀膜设备转架

权利要求书

1.一种PVD镀膜设备转架，其特征在于，包括：

第一转动件(100)、第二转动件(200)以及转动杆(300)；

所述第一转动件(100)设置有第一孔(110)，所述第二转动件(200)设置有第二孔(210)；所述第一转动件(100)以及所述第二转动件(200)间隔设置于所述转动杆(300)，所述第一转动件(100)与所述第二转动件(200)固定，以将待镀膜的圆球夹在所述第一孔(110)与所述第二孔(210)之间。

2.根据权利要求1所述的PVD镀膜设备转架，其特征在于：

所述第一转动件(100)固定于所述转动杆(300)，所述第二转动件(200)可移动地设置于所述转动杆(300)，所述第二转动件(200)相对所述转动杆(300)移动的过程中靠近或者远离所述第一转动件(100)。

3.根据权利要求2所述的PVD镀膜设备转架，其特征在于：

所述PVD镀膜设备转架还包括紧固件；所述第二转动件(200)在相对所述转动杆(300)移动到预设位置的情况下与所述第一转动件(100)通过所述紧固件固定，以将待镀膜的圆球夹在所述第一孔(110)与所述第二孔(210)之间。

4.根据权利要求3所述的PVD镀膜设备转架，其特征在于：

所述第一转动件(100)以及所述第二转动件(200)均为圆形板状结构；所述第一转动件(100)以及所述第二转动件(200)的中心均与所述转动杆(300)的轴心线重合。

5.根据权利要求4所述的PVD镀膜设备转架，其特征在于：

所述第一孔(110)的数量为多个，多个所述第一孔(110)绕所述第一转动件(100)的中心间隔设置；所述第二孔(210)的数量为多个，多个所述第二孔(210)绕所述第二转动件(200)的中心间隔设置；多个所述第一孔(110)与多个所述第二孔(210)一一对应。

6.根据权利要求5所述的PVD镀膜设备转架，其特征在于：

所述紧固件为螺栓；所述第一转动件(100)开设有多个第一螺孔(120)，多个所述第一螺孔(120)绕所述第一转动件(100)的中心间隔设置；所述第二转动件(200)开设有多个第二螺孔(220)，所述多个第二螺孔(220)与所述多个第一螺孔(120)一一对应。

7.根据权利要求6所述的PVD镀膜设备转架，其特征在于：

所述第一螺孔(120)的中心到所述第一转动件(100)的中心的距离小于所述第一孔(110)的中心到所述第一转动件(100)的中心的距离。

8.根据权利要求1-7任一项所述的PVD镀膜设备转架，其特征在于：

所述第一转动件(100)的数量为多个；所述第二转动件(200)的数量为多个；

每个所述第一转动件(100)与一个所述第二转动件(200)组成一组支架组，多组所述支架组沿所述转动杆(300)的延伸方向间隔设置。

9.根据权利要求1-7任一项所述的PVD镀膜设备转架，其特征在于：

所述PVD镀膜设备转架还包括转动圆盘；所述转动杆(300)可转动地设置于所述转动圆盘，并在所述转动圆盘转动的情况下绕所述转动圆盘的中心转动。