[实用新型]防缩针稳定粘胶装置

说明书

防缩针稳定粘胶装置。提供了一种结构紧凑、提高粘胶稳定性的防缩针稳定粘胶装置。包括上压板、粘胶座和直线驱动机构；所述直线驱动机构的活塞缸竖向固定设置在压台上，通过压台的上下运动，实现所述粘胶座的升降；所述上压板与所述粘胶座相适配，并与所述直线驱动机构的活塞杆固定连接；所述粘胶座通过若干导向杆活动设置在所述上压板的下方；所述导向杆的底部与所述粘胶座固定连接，顶部从所述上压板内伸出，并通过与之固定连接的封板限位；所述导向杆上设有弹簧，位于所述上压板与粘胶座之间。本实用新型具有结构紧凑、提高粘胶稳定性等特点。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体加工设备，尤其涉及防缩针稳定粘胶装置。

背景技术

在半导体加工时，通常需要在铜质料片上面进行粘胶，粘胶座通过水平移动装置，实现粘胶座在胶槽工位和产品工位水平移动切换，粘胶座移动至胶槽工位时，通过升降机构将粘胶座上的粘胶针下降与胶槽工位内胶进行接触，然后上升，转移至产品工位上方，再次通过升降机构将粘胶针下降与产品接触，进行粘胶工艺。

粘胶针通过压簧（压簧套设在粘胶针上，位于粘胶座内）垂直活动设置在粘胶座上，粘胶针与产品接触后，由于粘胶座持续下压，此时粘胶针克服压簧的压力，与产品接触，提高粘胶针粘胶的稳定性。但当出现弹簧老化、失效问题时，就会出现无法有效控制粘胶量，导致粘胶后胶点大小不一、漏胶点等问题。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构紧凑、提高粘胶稳定性的防缩针稳定粘胶装置。

本实用新型的技术方案是：防缩针稳定粘胶装置，包括上压板、粘胶座和直线驱动机构；

所述直线驱动机构的活塞缸竖向固定设置在压台上，通过压台的上下运动，实现所述粘胶座的升降；

所述上压板与所述粘胶座相适配，并与所述直线驱动机构的活塞杆固定连接；

所述粘胶座通过若干导向杆活动设置在所述上压板的下方；

所述导向杆的底部与所述粘胶座固定连接，顶部从所述上压板内伸出，并通过与之固定连接的封板限位；

所述导向杆上设有弹簧，位于所述上压板与粘胶座之间。

所述直线驱动机构包括气缸、油缸或电动推杆。

所述粘胶座包括座体、若干粘胶针和若干压簧；

若干所述粘胶针与若干所述压簧数量相等，并一一对应；

所述压簧位于所述座体内，套设在所述粘胶针上。

所述粘胶座的底部设有一对对称固定设置的限位板。

所述上压板包括板体和若干顶杆；

若干所述顶杆固定设置在所述板体的底部，与粘胶座相适配。

所述顶杆朝向粘胶座一端设有沉槽。

本实用新型包括上压板、粘胶座和直线驱动机构；直线驱动机构的活塞缸竖向固定设置在压台上，通过压台的上下运动，实现所述粘胶座的升降；上压板与粘胶座相适配，并与直线驱动机构的活塞杆固定连接；压台水平移动至胶槽工位，下降，将粘胶针向胶槽内粘胶，粘胶完成后，上升，移动至产品工位，压台下降，带动粘胶座下降，直至粘胶针与产品接触，接触后持续下降一定距离，将粘胶针克服套设在其外侧的压簧移动设定量后。直线驱动机构的活塞杆伸出，将上压板克服弹簧的弹力下压，使得上压板压设在粘胶针的顶部，带动粘胶针下压，确保失效压簧相应的粘胶针能够完成粘胶工艺。本实用新型具有结构紧凑、提高粘胶稳定性等特点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，

图2是粘胶针与压簧连接状态结构示意图，

图3是现有技术中粘胶座的立体结构示意图；