[实用新型]超高纯氩气的纯化设备

说明书

本实用新型公开了一种超高纯氩气的纯化设备，包括沿氩气原料流动方向依次设置的催化燃烧装置、吸附装置以及精馏装置，所述催化燃烧装置内设置有网状载体，所述网状载体上设置有供氩气原料通过的网孔，且所述网状载体上负载有催化剂。本实用新型的超高纯氩气的纯化设备，具有安全性高，能耗低，工艺操作简单，产品纯度高等优点。

技术领域

本实用新型是关于一种提纯设备，特别是关于一种超高纯氩气的纯化设备。

背景技术

氩气是一种无色无臭的惰性气体，其分子式为Ar,分子量39.95，蒸汽压为202.64KPa(-179℃)，熔点-189.2℃，沸点-185.7℃；氩气是空气中除氧气和氮气外的另一种含量较大的气体，获取成本相对较低，同时他具有优良的化学惰性和物理性能，能为各种工艺提供惰性气氛，达到置换杂质气体，吹扫固体粉末、带走工艺中多余热量等目的，但是近年随着半导体等行业的高速发展，在半导体成品制作工艺中对使用气体纯度的要求越来越高，杂质都要求小于1ppb,传统超高纯气体纯化器调试完成后，产品氩气中的氢气和甲烷往往超高不能达到ppb级，需要长期大量吹扫放空，才能达标并投入使用，此过程会造成纯化器调试时间长、气源浪费、影响用户使用周期、产品指标不稳定等问题；而现有技术中单一的吸附和精馏都不能使氩气中的杂质烃类(甲烷)、氢气、一氧化碳等杂质达到ppb级，满足不了电子工业、生物医药等领域中的应用要求。

因此，有必要提供一种超高纯氩气的纯化设备，来解决上述问题。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超高纯氩气的纯化设备，其能够得到超高纯氩气。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种超高纯氩气的纯化设备，包括沿氩气原料流动方向依次设置的催化燃烧装置、吸附装置以及精馏装置，所述催化燃烧装置内设置有网状载体，所述网状载体上设置有供氩气原料通过的网孔，且所述网状载体上负载有催化剂。

在一个或多个实施方式中，所述网状载体由多个编织体组装形成，所述催化剂负载在所述编织体上。

在一个或多个实施方式中，所述编织体为多孔结构，且编织体的外表面设有微孔。

在一个或多个实施方式中，所述编织体为线状、条状以及柱状中的任一一种，且所述编织体在轴向方向的长度为3～5cm。

在一个或多个实施方式中，所述网孔的孔径不超过3mm。

在一个或多个实施方式中，所述精馏装置包括精馏脱轻塔和精馏脱重塔。

在一个或多个实施方式中，所述精馏脱轻塔的塔底的温度为-170～-150℃，压力为0.3～0.6MPa；其塔顶的温度比塔底的温度低1～30℃，且塔顶的压力为0.3～0.6MPa。

在一个或多个实施方式中，所述精馏脱重塔的塔底的温度为-175～-160℃，压力为0.25～0.55MPa；其塔顶的温度比塔底的温度低1～30℃

在一个或多个实施方式中，所述催化燃烧装置和吸附装置之间还设置有冷却装置。

与现有技术相比，根据本实用新型的超高纯氩气的纯化设备，通过将带有杂质的氩气原料先通入催化燃烧内，使杂质中的烃类、氧气等难除杂质在网状载体上的催化剂的作用下，催化燃烧转化成水和二氧化碳，且在该过程中，温度只需控制在70～225℃的范围内即可，起到了降低耗能的作用；再将水和二氧化碳通过吸附装置以及精馏装置进行脱除，就能得到超高纯氩气。本实用新型的超高纯氩气的纯化设备具有安全性高，能耗低，工艺操作简单，产品纯度高等优点。

附图说明

图1是根据本实用新型一实施方式的超高纯氩气的纯化设备的整体示意图；