[实用新型]蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统

说明书

本公开涉及一种蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统，所述蓝宝石晶片的擦洗装置包括第一擦洗部、用于分隔放置蓝宝石晶片的定位夹具以及第二擦洗部，所述第一擦洗部和第二擦洗部相对的表面分别设置有柔性清洁件，所述第一擦洗部上设置有操作部，以通过操作该操作部使得所述第一擦洗部能够进行接近或远离所述第二擦洗部的第一运动，以及在接触所述第二擦洗部的状态下沿所述第二擦洗部往复擦洗的第二运动。通过上述技术方案，本公开提供的蓝宝石晶片的擦洗装置操作简便，清洗效率高，清洗效果好。

技术领域

本公开涉及蓝宝石清洗技术领域，具体地，涉及一种蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统。

背景技术

单晶蓝宝石作为GaN基发光二极管(LED)应用最广泛的衬底材料，晶片的表面质量直接决定外延质量，进而影响最终LED产品的发光性能及寿命，这就要求蓝宝石晶片加工表面具有很高的完整性，表面平整度好、无划痕、无位错、低非晶相变和亚表面损伤。要获得优质的蓝宝石晶片，清洗这道工序必不可少。传统的蓝宝石清洗工工艺由人工进行单片清理，需要耗费较多的人力工时，清洗成功率低，清洗稳定性差。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种操作简便、清洗效率高、清洗效果好的蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统。

为了实现上述目的，根据本公开的第一方面，提供一种蓝宝石晶片的擦洗装置，包括第一擦洗部、用于分隔放置蓝宝石晶片的定位夹具以及第二擦洗部，所述第一擦洗部和第二擦洗部相对的表面分别设置有柔性清洁件，所述第一擦洗部上设置有操作部，以通过操作该操作部使得所述第一擦洗部能够进行接近或远离所述第二擦洗部的第一运动，以及在接触所述第二擦洗部的状态下沿所述第二擦洗部往复擦洗的第二运动。

可选地，所述柔性清洁件为棉布或海绵。

可选地，所述第一擦洗部形成有第一擦洗面，所述第二擦洗部形成有第二擦洗面，所述第一擦洗面及第二擦洗面为平面，所述柔性清洁件为分别铺设在所述第一擦洗面和第二擦洗面的棉布。

可选地，所述第一擦洗部两端分别形成有向上延伸的固定部，所述棉布的两端固定在所述固定部上。

可选地，所述第一擦洗部由第一长形板件形成，所述第一长形板件两端向上弯折以形成所述固定部，所述操作部为固定在所述第一长形板件与所述第一擦洗面的相反一面上的把手。

可选地，所述第二擦洗部的两端分别形成有向下延伸的支撑部，所述棉布固定在该支撑部上。

可选地，所述第二擦洗部由第二长形板件形成，所述第二长形板件两端向下弯折以形成所述支撑部。

可选地，所述定位夹具包括平板主体，该平板主体由第三长形板件形成，该第三长形板件上形成有多个容置孔，所述多个容置孔为通孔并沿该第三长形板件的长度方向间隔排列，每个所述容置孔用于放置一个所述蓝宝石晶片。

可选地，所述定位夹具的厚度小于所述蓝宝石晶片的厚度。

根据本公开的第二方面，提供一种蓝宝石晶片的擦洗系统，包括上述的蓝宝石晶片的擦洗装置，用于向所述蓝宝石晶片的擦洗装置喷射清洗液的供水管路，以及回收所述清洗液的收集装置。