[实用新型]一种基于扫描转镜的集成式激光微加工平台

权利要求书

1.一种基于扫描转镜的集成式激光微加工平台，其特征在于，包括底座，所述底座上设置有横梁，所述横梁的一侧设置有可竖直移动的Z轴移动平台，所述Z轴移动平台上设置有扫描转镜设备；在所述扫描转镜设备下方，所述底座上设置有X-Y轴移动平台，所述X-Y轴移动平台的上端设置有激光加工平台和L形的机械夹具轨道，所述机械夹具轨道的上端面与激光加工平台的工作面平齐，所述机械夹具轨道上端设置有L形的定位压尺，所述定位压尺能够与激光加工平台上的加工靶材接触，并对激光加工平台上的加工靶材进行竖直压紧。

2.根据权利要求1所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台，其特征在于，所述机械夹具轨道的上端设置有L形的T型槽，所述T型槽的长度与所述定位压尺的长度相适应；所述定位压尺上方横跨有抵压块，且所述抵压块的一端通过销轴与机械夹具轨道可转动连接，所述抵压块的另一端通过T型螺栓和螺母与机械夹具轨道可拆卸连接，所述T型螺栓的螺栓头位于所述T型槽内。

3.根据权利要求2所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台，其特征在于，所述螺母为蝶形螺母。

4.根据权利要求2所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台，其特征在于，所述激光加工平台上设置有吸尘装置和吹屑装置。

5.根据权利要求4所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台，其特征在于，所述吸尘装置上设置有喇叭型吸风口。

6.根据权利要求4所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台，其特征在于，所述吹屑装置上设置有扁嘴型出风口。

7.根据权利要求4所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台，其特征在于，所述激光加工平台为矩形加工平台，所述机械夹具轨道的两个边分别与所述激光加工平台上两个相邻的侧面相对，所述吸尘装置和吹屑装置分别位于所述激光加工平台的另外两个侧面的上方。

8.根据权利要求1-7任一所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台，其特征在于，所述激光加工平台为激光加工真空吸附平台。

9.根据权利要求8所述的基于扫描转镜的集成式激光微加工平台，其特征在于，所述底座和横梁均为大理石材质。