[实用新型]一种石英坩埚模具过水板高度控制系统有效
申请号: | 202123091390.2 | 申请日: | 2021-12-09 |
公开(公告)号: | CN216760255U | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 崔玉娟;何文兵;杜兴林;韩君勇;马俊飞;毛磊;董成官;包林伟 | 申请(专利权)人: | 内蒙古欧晶科技股份有限公司 |
主分类号: | B28B7/00 | 分类号: | B28B7/00;B28B17/00 |
代理公司: | 内蒙古欣洋瑞专利代理有限公司 15110 | 代理人: | 汪介方 |
地址: | 010000 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 坩埚 模具 高度 控制系统 | ||
本实用新型公开了一种石英坩埚模具过水板高度控制系统,包括石英坩埚模具,石英坩埚模具上方设有过水板,过水板的上部连接有多根吊杆,多根吊杆的上端连接有吊板,吊板的上部连接有吊装装置,吊装装置固定设于厂房,过水板的中部设有通孔,通孔内插设有电极,还包括控制器和测量过水板与石英坩埚模具之间距离的测距部件,测距部件与控制器的输入端信号连接,控制器的输出端与吊装装置信号连接。本实用新型具有以下优点:激光测距仪间接测得石英坩埚模具上端与过水板下方之间的距离,降低了人工测量的误差;自动控制过水板高度,调节耗时短、过程简便;极大地减小了人工测量的工作量,降低了人员被石英坩埚模具烫伤的风险。
技术领域:
本实用新型涉及坩埚模具领域,特别涉及一种石英坩埚模具过水板高度控制系统。
背景技术:
过水板是石英坩埚模具的一个附属装置,其安装在石英坩埚模具上方,主要作用是防止石英坩埚熔制过程中石英坩埚模具内热量向外界散失,同时起到给电极位置参考的作用。在石英坩埚熔制过程中,需控制过水板和石英坩埚模具上端的距离,若距离过大,石英坩埚模具内的热量大量向外界散失,其内部的温度过低,造成熔制的石英坩埚产品厚度不一致;若距离过小,则石英坩埚模具上口温度过高,其内部的温度不均匀,会导致熔制的石英坩埚产品上口尺寸不良。因此,需精确控制过水板高度,以控制过水板与石英坩埚模具之间的距离,确保石英坩埚产品的质量。
目前控制过水板高度主要采用的方法为:人工用刻度尺测量石英坩埚模具上端至过水板下方的距离,并通过吊装装置不断调整过水板的高度,直至过水板与石英坩埚模具上端的距离达到预定数值。但是存在以下问题:
1、不同测量者测量习惯、操作熟练程度存在差异,人工测量的过水板与石英坩埚模具上端之间的距离误差较大;
2、需根据人工测量的过水板与石英坩埚模具之间的距离反复调整吊装装置,以控制过水板的高度,使石英坩埚上端与过水板下方的距离达到预定值,调节过程耗时长,且较为繁琐;
3、过水板位置较高,石英坩埚模具的温度高,人工测量操作不方便,且存在一定的安全隐患。
实用新型内容:
本实用新型的目的在于提供一种石英坩埚模具过水板高度控制系统。
本实用新型由如下技术方案实施:一种石英坩埚模具过水板高度控制系统,包括石英坩埚模具,所述石英坩埚模具上方设有过水板,所述过水板的上部连接有多根吊杆,多根所述吊杆的上端连接有吊板,所述吊板的上部连接有吊装装置,所述吊装装置固定设于厂房,所述过水板的中部设有通孔,所述通孔内插设有电极;
还包括控制器和测量所述过水板与所述石英坩埚模具之间距离的测距部件,所述测距部件与所述控制器的输入端信号连接,所述控制器的输出端与所述吊装装置信号连接。在实际使用中,石英坩埚模具固定设置于厂房,测距部件与石英坩埚上端的距离、以及过水板的厚度是固定值,通过测距部件测量过水板上方与测距部件之间的距离,来间接测得石英坩埚模具上端与过水板下方之间的距离,并通过控制器不断调整吊装装置,直至测距部件与过水板上方的距离达到设定值。
进一步的,所述吊装装置包括液压缸和液压油泵,所述液压缸固定设于厂房,所述液压缸的进油口与所述液压油泵的出口通过管道连接,所述液压缸的回油口与所述液压油泵的进口通过管道连接;所述控制器的输出端与所述液压油泵信号连接。控制器通过控制液压油泵的转速调节液压缸的伸缩长度。
进一步的,所述液压油泵的出口与所述液压缸的进油口连通的管道上还设有压力表,所述压力表与所述控制器的输入端信号连接。控制器通过测距部件与过水板之间的距离、液压油泵出口油压两个参数共同控制液压缸的伸缩长度,以精确控制石英坩埚模具上端与过水板之间的距离。
进一步的,所述测距部件为激光测距仪。
本实用新型具有以下优点:
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