[实用新型]一种防脱落圆形晶圆载具

说明书

本实用新型公开了一种防脱落圆形晶圆载具，涉及晶圆加工领域，包括载具底板和载具顶板，载具底板和载具顶板之间固定连接有竖直设置的载具支柱，载具底板和载具顶板后侧边缘呈对称的多边形，载具底板和载具顶板前侧边缘呈扇形，载具底板和载具顶板之间的容置空间为晶圆承载空间，晶圆承载空间后侧外边缘左右对称的设置有若干个晶圆承载板，晶圆承载空间前侧边缘处左右对称的设置有晶圆防脱挡柱。本实用新型的优点在于：通过对述载具底板和载具顶板外形进行分隔设计，在载具前侧设置有转动的晶圆防脱挡柱，可有效的防止圆形晶圆板从晶圆载舟中脱落，有效的降低了晶圆在转运过程中从晶圆载舟中脱落概率，降低了晶圆的损坏率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工领域，具体是涉及一种防脱落圆形晶圆载具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片， 其造价高昂， 因此晶圆在运送时需要非常的小心；运送晶圆时， 首先会将晶圆放置于晶圆板上， 接着再将各晶圆板连带晶圆放置于晶圆载具中。

晶圆在搬运过程中，由于惯性作用，极易导致晶圆板从晶圆载具中脱落，进而导致晶圆发生损坏，故而在晶圆载具中需要设计挡板对晶圆板进行限位，而圆形晶圆板由于其结构的特殊性，现有的晶圆载具无法对其进行有效的限位防止其脱落，在进行转运时极易导致晶圆损坏，因此提出一种防脱落圆形晶圆载具是十分必要的。

实用新型内容

为解决上述技术问题，提供一种防脱落圆形晶圆载具，本技术方案解决了上述的晶圆在搬运过程中，由于惯性作用，极易导致晶圆板从晶圆载具中脱落，进而导致晶圆发生损坏，故而在晶圆载具中需要设计挡板对晶圆板进行限位，而圆形晶圆板由于其结构的特殊性，现有的晶圆载具无法对其进行有效的限位防止其脱落，在进行转运时极易导致晶圆损坏，因此提出一种防脱落圆形晶圆载具是十分必要的的问题。

为达到以上目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种防脱落圆形晶圆载具，包括载具底板和载具顶板，所述载具底板和载具顶板之间固定连接有竖直设置的载具支柱，所述载具底板和载具顶板后侧边缘呈对称的多边形，所述载具底板和载具顶板前侧边缘呈扇形，所述载具底板和载具顶板之间的容置空间为晶圆承载空间，所述晶圆承载空间后侧外边缘左右对称的设置有若干个晶圆承载板，所述晶圆承载板上下两端分别与载具底板和载具顶板固定连接，所述晶圆承载空间前侧边缘处左右对称的设置有晶圆防脱挡柱。

优选的，所述晶圆防脱挡柱上下两端均与转动连接件转动连接，上下两端所述转动连接件远离晶圆防脱挡柱的一端分别与载具顶板和载具底板转动连接。

优选的，所述载具顶板与晶圆防脱挡柱对应位置处开设有防脱卡槽，所述晶圆防脱挡柱上端固定连接有弹性防脱卡块，所述弹性防脱卡块和防脱卡槽相适配。

优选的，所述晶圆承载板内侧均匀等距的开设有若干个晶圆槽。

优选的，所述载具底板下端固定连接有若干个定位治具，所述定位治具下端开设有V形定位槽，多个所述定位治具呈人字形呈环形均匀的设置于载具底板下端。

优选的，左右两侧所述晶圆承载板外侧对称的固定连接有转运把手。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型通过对述载具底板和载具顶板外形进行分隔设计，将载具底板和载具顶板的后侧设计为对称的多边形设计，多边形的左右两侧边与圆形晶圆板相适配，将载具底板和载具顶板的前侧设计为扇形结构，并在载具底板和载具顶板前侧左右两边转动连接有晶圆防脱挡柱，晶圆防脱挡柱转动至防脱卡槽内部可，两侧的晶圆防脱挡柱可与圆形晶圆板前侧抵接，可有效的对圆形晶圆板进行限位固定，同时由于晶圆防脱挡柱的转动至防脱卡槽内时，两侧的晶圆防脱挡柱之间的间距小于圆形晶圆板的直径，可有效的防止圆形晶圆板从晶圆载舟中脱落，有效的降低了晶圆在转运过程中从晶圆载舟中脱落概率，降低了晶圆的损坏率。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；