[实用新型]一种四坩埚蒸发源

权利要求书

1.一种四坩埚蒸发源，其特征在于，包括法兰组件、水冷组件、坩埚组件以及快门组件；

所述法兰组件包括：真空法兰(1)和连接在真空法兰(1)上的两个电极法兰(2)；

所述真空法兰(1)连接于分子束外延设备上，所述水冷组件和快门组件均贯穿所述真空法兰(1)设置，所述坩埚组件固定安装在水冷组件顶部；水冷组件用于对坩埚组件进行冷却，快门组件用于控制坩埚组件产生的蒸汽排出；

所述坩埚组件包括：坩埚隔板(6)、四个坩埚台(7)、四个坩埚台帽(8)、四个坩埚(9)、坩埚罩(10)以及四个加热单元(11)；

所述坩埚罩(10)罩置在坩埚隔板(6)上，坩埚隔板(6)将坩埚罩(10)的内腔分隔为四个独立空间，在每个独立空间中容置有一个坩埚台(7)，每个坩埚台(7)的底部与坩埚隔板(6)固定连接，每个坩埚台(7)内部安装有一个坩埚(9)，坩埚(9)内装有待蒸发的固体材料源，每个坩埚台(7)的顶部安装有一个坩埚台帽(8)；

所述坩埚台(7)的侧壁为双层结构，双层结构中间有一环形真空空腔；

所述加热单元(11)设置在坩埚台(7)的侧壁内部。

2.如权利要求1所述一种四坩埚蒸发源，其特征在于，所述水冷组件包括两根水冷管(3)和水冷台(4)；两根水冷管(3)分别贯穿真空法兰(1)设置；所述水冷台(4)固定连接于两根水冷管(3)的顶端；水冷台(4)内设置有冷却通道(5)；两根水冷管(3)中，一根为进水管，另一根为出水管；进水管的一端与冷却通道(5)连通，另一端为进水口(31)，出水管的一端与冷却通道(5)连通，另一端为出水口(32)；冷却介质通过进水管的进水口(31)流入，并在流经水冷台(4)的冷却通道(5)之后通过出水管的出水口(32)流出。

3.如权利要求2所述一种四坩埚蒸发源，其特征在于，所述水冷台(4)为圆柱体结构；所述水冷台(4)与水冷管(3)之间焊接；水冷管(3)与水冷台(4)垂直设置，水冷台(4)与真空法兰(1)之间同轴设置；所述水冷台(4)内设置的冷却通道(5)有两条，两条冷却通道(5)并联。

4.如权利要求2或3所述一种四坩埚蒸发源，其特征在于，所述坩埚隔板(6)与水冷台(4)固定连接，坩埚罩(10)设置有与坩埚(9)一一对应的通孔；四个所述加热单元(11)一一对应集成设置在对应的坩埚台(7)侧壁内部，四个加热单元(11)的电极(16)与电极法兰(2)的电极之间电连接，其中，两个加热单元(11)为电阻式加热单元，另两个加热单元(11)为电子束加热单元。

5.如权利要求4所述一种四坩埚蒸发源，其特征在于，所述坩埚隔板(6)包括底板(61)、十字型的竖板(62)和砥柱(63)；所述底板(61)通过紧固件固定安装于水冷台(4)的顶面，四个所述砥柱(63)分别位于竖板(62)隔开的四个独立空间内，且固定连接在底板(61)上；坩埚台(7)的底部与砥柱(63)固定连接；坩埚罩(10)通过紧固件固定连接于竖板(62)的顶部。

6.如权利要求1-3任意一项所述的一种四坩埚蒸发源，其特征在于，所述坩埚组件还包括与坩埚(9)一一对应的测温单元，测温单元与电极法兰(2)的电极连接。

7.如权利要求6所述的一种四坩埚蒸发源，其特征在于，所述测温单元为热电偶，热电偶穿过坩埚隔板(6)上的孔路固定在坩埚台(7)上，用于测量坩埚(9)的温度。

8.如权利要求5所述的一种四坩埚蒸发源，其特征在于，所述坩埚台(7)通过陶瓷管连接于所述坩埚隔板(6)的砥柱(63)上；坩埚台(7)底部加工有一盲孔，坩埚台(7)底部的盲孔与陶瓷管配合，并通过紧固件紧固。