[实用新型]一种高精度激光刻蚀装置有效
申请号: | 202123111210.2 | 申请日: | 2021-12-13 |
公开(公告)号: | CN216531976U | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 林金明;林静;李春山 | 申请(专利权)人: | 无锡锐玛克科技有限公司 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00;B23K26/362;B23K26/70 |
代理公司: | 江苏无锡苏汇专利代理事务所(普通合伙) 32593 | 代理人: | 沈彬彬 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高精度 激光 刻蚀 装置 | ||
1.一种高精度激光刻蚀装置,包括底座(1),底座(1)上设有治具座(2)和激光刻蚀组件(3),其特征在于:所述底座(1)上连接有第一滑块导轨(4)和第二滑块导轨(5),所述第一滑块导轨(4)和第二滑块导轨(5)分别沿X轴向和Y轴向设置,所述第二滑块导轨(5)连接于第一滑块导轨(4)的滑块上,所述治具座(2)设于第二滑块导轨(5)的滑块上,所述第二滑块导轨(5)的滑块上设有用于驱动治具座(2)升降的升降组件(6),所述第二滑块导轨(5)的滑块上设有极轴调节组件。
2.根据权利要求1所述的一种高精度激光刻蚀装置,其特征在于:所述升降组件(6)包括安装座(61)和升降电缸(62),所述升降电缸(62)内置于安装座(61)内,所述治具座(2)转动连接于升降电缸(62)的活塞杆穿出安装座(61)的端部。
3.根据权利要求2所述的一种高精度激光刻蚀装置,其特征在于:所述治具座(2)上连接有连接板(21),所述连接板(21)上连接有限位块(211),所述安装座(61)的侧壁上连接有导向块(611),所述限位块(211)上开设有供导向块(611)滑动插入的导向槽。
4.根据权利要求1所述的一种高精度激光刻蚀装置,其特征在于:所述极轴调节组件为极轴调节器(7)。
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