[实用新型]硅片氧化膜成型设备

说明书

本实用新型涉及一种硅片氧化膜成型设备，包括氧化腔、隔板、加热单元和通氧管，所述氧化腔内设有传输轨道，所述传输轨道自所述氧化腔的输入端延伸至其输出端；至少一个所述隔板将所述氧化腔间隔形成至少两个氧化腔单元；所述加热单元设置在所述氧化腔单元内；所述通氧管设置在所述氧化腔单元内，所述通氧管的表面具有通氧孔。本实用新型通过设置在所述氧化腔内的传输轨道使硅片能够持续传递，以实现能够硅片能够批量化进行氧化膜形成的目的，通过所述隔板将所述氧化腔分隔成多个所述氧化腔单元，使单一的所述氧化腔单元的容积更小，氧气扩散至整个所述氧化腔单元内的速度更快，氧化的均匀性更好。

技术领域

本实用新型涉及重掺保护技术领域，尤其是指一种硅片氧化膜成型设备。

背景技术

在SE(Selective Emitter选择性发射极)太阳能电池制造过程中，利用激光的高温高能对硅片设计图形部位进行重掺杂，重掺过程中图形区域PSG(磷硅玻璃)会被破坏，若重掺区无保护后续碱抛处理时激光重掺区域会被腐蚀。为了避免这种情况，目前主要通过管式氧化炉或者常温臭氧喷淋方式对重掺区域进行保护。

所谓管式氧化炉即将预定数目的硅片放入篮内后推入管状氧化炉，随后将氧气通入氧化炉，待反应完成后硅片的表面形成氧化膜再将篮子取出，取出篮内的硅片再对下一批硅片进行保护操作。该种在硅片表面形成氧化膜的方式一方面需要多种配套设备，无法实现连续生产，导致产量低，且该种工艺较为复杂，另一方面，硅片形成的氧化膜容易受管内气流分布均匀性影响，氧化膜的厚度差异较大，通常会出现中间区域较薄四边区域较厚的现象。

所谓臭氧喷淋的方式即将硅片放置于传动锟上，将臭氧溶于水后喷淋至传动锟上的硅片表面，臭氧接触到硅片时即形成氧化膜。然而该种方式虽然可以进行形成氧化膜，但是形成的氧化膜致密性较差，碱抛过程中重掺区域还是会出现一定程度的破坏，影响太阳能电池转换效率，而且均匀性也不是很好，同时由于臭氧是毒性气体，对于操作人员的安全存在一定的隐患。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中硅片的氧化膜或是产量低、厚度差异大，或是致密性差的技术问题，提供一种硅片氧化膜成型设备。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片氧化膜成型设备，包括：

氧化腔，所述氧化腔内设有传输轨道，所述传输轨道自所述氧化腔的输入端延伸至其输出端；

隔板，至少一个所述隔板将所述氧化腔间隔形成至少两个氧化腔单元；

加热单元，所述加热单元设置在所述氧化腔单元内；

通氧管，所述通氧管设置在所述氧化腔单元内，所述通氧管的表面具有通氧孔；

硅片通过所述传输轨道输入所述氧化腔内，经所述通氧孔释放的氧气和所述加热单元释放的热量反应至表面形成氧化膜后输出所述氧化腔。

在本实用新型的一个实施例中，至少两个所述通氧管设置在所述氧化腔单元沿硅片传输方向的不同侧，所述通氧管的延伸端延伸至所述氧化腔单元内且其延伸端封闭。

在本实用新型的一个实施例中，多个所述通氧孔绕所述通氧管圆周分布。

在本实用新型的一个实施例中，所述加热单元包括红外灯管，多个所述红外灯管位于所述氧化腔单元内的底部。

在本实用新型的一个实施例中，所述隔板包括隔热层和封尘层，所述封尘层与所述隔热层连接且位于所述隔热层朝向所述氧化腔单元的两侧。

在本实用新型的一个实施例中，所述传输轨道包括传动轴和驱动单元，多个所述传动轴依次设置且均与所述驱动单元连接，位于每个所述氧化腔单元内的传动轴的轨道数量为5-10个。