[实用新型]金属加热制备氧化亚硅的设备

权利要求书

1.一种金属加热制备氧化亚硅的设备，其特征在于，包括：

反应装置，在所述的反应装置中分别设置加热部件和收集部件；所述的加热部件用于加热，所述的收集部件用于收集；

真空装置，所述的反应装置上连接所述真空装置；

真空切换装置；在所述真空装置上连接所述真空切换装置，所述的真空切换装置根据真空度的不同切换控制不同的真空装置。

2.根据权利要求1所述的金属加热制备氧化亚硅的设备，其特征在于，所述的反应装置，还包括：

壳体，在所述的反应装置的外侧设置所述的壳体；在所述的壳体的下方设置一通孔，所述通孔连接所述真空切换装置；

炉门，在所述的炉门的两侧通过螺栓卡扣装置固定所述的炉门；

炉门盖板，在所述的炉门上固定所述炉门盖板；

固定圈，在所述壳体与所述炉门之间固定所述固定圈；

外筒，在所述的壳体内部固定所述的外筒；

第一氧化铝板，在其中一部分所述外筒的内部的沿着所述壳体的轴线上并列设置若干块所述第一氧化铝板；

第二氧化铝板，在其中另一部分所述外筒的内部的沿着所述壳体的轴线上并列设置若干块所述第二氧化铝板；所述的第一氧化铝板和所述第二氧化铝板间隔设置；

第三氧化铝板，在所述第一氧化铝板与所述第二氧化铝板之间的所述外筒的内部设置所述第三氧化铝板；

所述的加热部件为钼丝加热环，在所述的第一氧化铝板内设置所述钼丝加热环；

所述的收集部件为收集桶，在所述的第二氧化铝板内设置所述收集桶；所述的收集桶与所述的钼丝加热环并列设置在所述第一氧化铝板、所述第二氧化铝板、所述第三氧化铝板构成的内孔中。

3.根据权利要求2所述的金属加热制备氧化亚硅的设备，其特征在于，所述的反应装置呈圆筒形；所述壳体、所述外筒、所述第一氧化铝板、所述第二氧化铝板、所述第三氧化铝板、所述钼丝加热环、所述收集桶均呈圆筒形；所述壳体、所述外筒、所述第一氧化铝板、所述第二氧化铝板、所述第三氧化铝板、所述钼丝加热环、所述收集桶均层套设置。

4.根据权利要求2所述的金属加热制备氧化亚硅的设备，其特征在于，所述螺栓卡扣装置，还包括：

第一销轴孔，在所述的炉门的一侧固定所述的第一销轴孔；

第二销轴孔，在所述壳体上固定所述第二销轴孔；

所述第一销轴孔和所述第二销轴孔中插入销轴，形成转动结构；

半圆形卡扣，在所述的炉门上固定若干个所述半圆形卡扣；

支座，在所述壳体的圆周上平均分布设置若干个支座；

在所述的支座上的圆孔中活动连接螺栓；所述螺栓穿入所述半圆形卡扣中进行螺栓固定。

5.根据权利要求3所述的金属加热制备氧化亚硅的设备，其特征在于，所述的钼丝加热环通过环绕钼丝在支撑环上制成。

6.根据权利要求1所述的金属加热制备氧化亚硅的设备，其特征在于，在所述的反应装置中的壳体下方连接第一连接管的一端，在所述的第一连接管的一侧固定直接法兰；在所述的第一连接管另一端和所述直接法兰的另一端均固定所述的真空切换装置。

7.根据权利要求6所述的金属加热制备氧化亚硅的设备，其特征在于，所述的真空切换装置，还包括：

蝶阀，在所述的第一连接管的另一端固定所述的蝶阀的一端；在所述的蝶阀的另一端连接第二连接管的一端；所述第二连接管的另一端上连接扩散泵；

第一真空挡板阀，在所述的第一连接管的另一端固定所述的第一真空挡板阀；在所述的第一真空挡板阀的下方连接第一波纹管的一端；所述第一波纹管的另一端上连接T型连接管的一端；在所述T型连接管的另一端连接第二波纹管的一端；所述第二波纹管的另一端连接电磁阀的一端；所述电磁阀的另一端连接真空泵；

在所述T型连接管的第三端连接第二真空挡板阀的一端；在所述第二真空挡板阀的下方连接第三连接管的一端；所述第三连接管的另一端连接扩散泵。