[实用新型]一种集成电路生产安装装置

权利要求书

1.一种集成电路生产安装装置，包括底板(1)、纵向导电轨道(3)、电动伸缩杆(4)、横向导电轨道(5)和安装盘(7)，所述电动伸缩杆(4)的下端通过纵向导电块(2)与纵向导电轨道(3)连接，所述横向导电轨道(5)安装在电动伸缩杆(4)的输出端，所述横向导电轨道(5)通过横向导电滑块(6)与放安装盘(7)连接，其特征在于：所述安装盘(7)上设置有弹性防刮层(10)且所述弹性防刮层(10)和安装盘(7)的上端均设置有若干组成环性排列且直径不断变大的通孔(11)，所述安装盘(7)的内腔设置有密封件(9)和带动多组密封件(9)依次运动的驱动件(8)，所述安装盘(7)上设置有可与气泵连接的进气管和安装有电动阀门的出气管。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产安装装置，其特征在于：所述密封件(9)包括若干组直径不一的圆环(91)且多组圆环(91)共轴心且同平面，若干组所述圆环(91)的底部均呈对称设置有两组柱体(93)且所述柱体(93)上设有开口(94)，位于外围圆环(91)上的柱体(93)上设置的开口(94)的下端位于相邻的小直径的圆环(91)上的柱体(93)上设置的开口(94)的下方，若干组所述圆环(91)的下端均固定有若干组复位弹簧(92)且所述复位弹簧(92)的下端与安装盘(7)的内腔底部固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路生产安装装置，其特征在于：所述复位弹簧(92)为金属材料制成，所述复位弹簧(92)的外表面上设置有一层镀锌层。

4.根据权利要求2所述的一种集成电路生产安装装置，其特征在于：所述驱动件(8)包括螺杆(81)，所述螺杆(81)的上端转动设置在安装盘(7)的内腔顶部的轴心处，所述螺杆(81)的下端密封贯穿安装盘(7)并与转动块连接，所述螺杆(81)的上端上螺纹套有螺纹管(82)且所述螺纹管(82)的两端呈对称设置有横杆(83)，两组所述横杆(83)分别穿过位于同侧设置的若干组开口(94)并与立柱(84)固定连接，两组所述立柱(84)的下端密封贯穿安装盘(7)，若干组所述圆环(91)的上端均固定有弹性密封垫且所述弹性密封垫的上端将与其相对应的环形设置的若干组通孔(11)密封柱。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路生产安装装置，其特征在于：所述螺杆(81)、螺纹管(82)、横杆(83)和立柱(84)均由不锈钢材料制成。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的一种集成电路生产安装装置，其特征在于：所述安装盘(7)的内腔设置有气压传感器(12)且所述气压传感器(12)与控制泵体和电动阀门进行放气排气的控制器电性连接。