[实用新型]质量流量计校准系统

说明书

本实用新型公开了一种质量流量计校准系统，包含：气源模块，气源模块用于输出测量用的气体；调压过滤模块，调压过滤模块与气源模块相连，用于对气源模块输出的气体进行过滤调压；电子测量模块，电子测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；物理测量模块，物理测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；控制模块，控制模块与调压过滤模块、电子测量模块以及物理测量模块相连。本实用新型弥补了国内高精度气体质量流量计的校准空白，使用物理与电子两种测试结合的方式，来对气体质量流量计进行校准，保证校准的精确度。

技术领域

本实用新型涉及流量计校准技术领域，特别涉及一种质量流量计校准系统。

背景技术

目前国内对于高精度气体质量流量计的校准处于空白，无法对高精度气体质量流量计进行精准的校准，使得只能借助外国的校准技术进行高精度气体质量的校准，从而来满足12寸芯片生产的矫正服务，并且现有的高精度气体质量流量计的校准精度不高，难以实现精确的校准。

实用新型内容

根据本实用新型实施例，提供了一种质量流量计校准系统，包含：

气源模块，气源模块用于输出测量用的气体；

调压过滤模块，调压过滤模块与气源模块相连，用于对气源模块输出的气体进行过滤调压；

电子测量模块，电子测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；

物理测量模块，物理测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；

控制模块，控制模块与调压过滤模块、电子测量模块以及物理测量模块相连。

进一步，气源模块包含：

气体钢瓶，气体钢瓶与调压过滤模块相连，用于输出测量的气体。

进一步，调压过滤模块包含：

第一调压器，第一调压器的一端与气源模块相连；

第一压力变送器，第一压力变送器的一端与第一调压器的另一端相连，第一压力变送器与控制模块信号连接；

过滤组件，过滤组件与第一压力变送器的另一端相连，用于过滤气体；

第二调压器，第二调压器的一端与过滤组件相连；

温度变送器，温度变送器的一端与第二调压器的另一端相连，温度变送器与控制模块信号连接；

第二压力变送器，第二压力变送器的一端与温度变送器的另一端相连，第二压力变送器的另一端与电子测量模块、物理测量模块相连，第二压力变送器与控制模块信号连接。

进一步，过滤组件包含：

气体过滤器，气体过滤器的一端与第一压力变送器的另一端相连；

第一手动阀门，第一手动阀门的一端与气体过滤器的另一端相连；

气体纯化器，气体纯化器的一端与第一手动阀门的另一端相连；

第二手动阀门，第二手动阀门的一端与气体纯化器的另一端相连，第二手动阀门的另一端与第二调压器的一端相连。

进一步，电子测量模块包含：

第一气动阀门，第一气动阀门的一端与调压过滤模块相连，第一气动阀门与控制模块电性连接；

第一校准置物位，第一校准置物位的一端与第一气动阀门的另一端相连，用于放置待测的流量计；

第二气动阀门，第二气动阀门的一端与第一校准置物位的另一端相连，第二气动阀门与控制模块电性连接；