[实用新型]晶片烘干设备

权利要求书

1.一种晶片烘干设备，包括箱体(1)，箱体(1)内设有容纳腔(11)，容纳腔(11)内壁上设有烘干组件，其特征在于：所述容纳腔(11)内设有烘干架(12)，烘干架(12)通过设于容纳腔(11)内的推动组件(2)推出或拉回箱体(1)，推动组件(2)包括设于容纳腔(11)底面且由箱体(1)内侧朝向箱体(1)出口一侧延伸的滑轨(21)，滑轨(21)上滑移连接有推动板(22)，推动板(22)底部设有滑动条(23)，滑动条(23)滑移连接在滑轨(21)内，烘干架(12)固定在推动板(22)上，容纳腔(11)底面上还设有用于驱使推动板(22)沿滑轨(21)延伸方向滑移的驱动件(3)。

2.根据权利要求1所述的晶片烘干设备，其特征在于：所述烘干架(12)包括若干层相互平行设置的安置板(121)，安置板(121)与推动板(22)结构相同，均开设有若干个平行设置的长方形的通风口(122)，若干块安置板(121)与推动板(22)之间形成用于容纳晶片的烘干槽(123)。

3.根据权利要求1所述的晶片烘干设备，其特征在于：所述驱动件(3)包括固定在容纳腔(11)底面上的驱动电机(31)，驱动电机(31)的输出轴上固定有驱动丝杠(32)，驱动丝杠(32)与滑轨(21)相互平行，推动板(22)底部固定有推动块(33)，驱动丝杠(32)穿透推动块(33)并与之螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的晶片烘干设备，其特征在于：所述滑轨(21)于容纳腔(11)底面内设有相互平行的两根，滑轨(21)末端固定有定位销(211)，推动板(22)上靠近容纳腔(11)内壁的一侧设有适配定位销(211)的定位杆(212)，容纳腔(11)设有用于封闭驱动电机(31)并隔热的隔热罩(311)，驱动电机(31)的输出轴穿透隔热罩(311)。

5.根据权利要求1所述的晶片烘干设备，其特征在于：所述驱动件(3)包括固定在箱体(1)侧壁上的电机减速器(34)，电机减速器(34)位于箱体(1)外侧壁上，其输出轴穿透箱体(1)侧壁延伸至容纳腔(11)内，电机减速器(34)的输出轴上固定有与之垂直设置的旋转杆(35)，旋转杆(35) 末端铰接有推动杆(36)，推动杆(36)末端铰接在推动板(22)侧面位置。

6.根据权利要求1所述的晶片烘干设备，其特征在于：所述容纳腔(11)内侧壁、容纳腔(11)顶面和底面上均设有烘干管(4)，容纳腔(11)内还设有排气风扇。