[实用新型]用于红外探测器激光钎焊的气体保护装置

说明书

本实用新型提供的用于红外探测器激光钎焊的气体保护装置，包括管状气管、环形气管、均流气管、气体流量控制单元以及气体供应单元；管状气管设于环缝的外部；环形气管的外侧上设有至少两圈出气孔，环形气管置于环缝内且至少两圈出气孔倾斜朝向环缝的两侧，用于从环缝的内部向环缝提供保护气体，且保护气体从环缝两侧覆盖环缝。在本实用新型中，利用激光钎焊焊接杜瓦，并利用设置于环形气管上的至少两圈出气孔，使保护气体从环缝的两侧较为均匀的覆盖环缝，不仅可避免焊接时环缝出现氧化，还可降低杜瓦的内部出现多余物的隐患，从而避免多余物对红外探测器的危害，并加快焊接时的冷却速度，减小杜瓦的变形量，从而提高杜瓦的焊接质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种用于红外探测器激光钎焊的气体保护装置。

背景技术

红外探测器主要包括杜瓦组件和制冷机两大部分。红外探测器的杜瓦组件包括芯片和杜瓦，芯片封装于杜瓦内，杜瓦为芯片提供真空的工作环境。真空度是杜瓦的重要可靠性指标，其将直接影响杜瓦的使用寿命。其中，杜瓦包括杜瓦外壳、冷指气缸、冷指底座等。

其中，冷指气缸与冷指底座分别为钛合金和不锈钢，现目前主要通过钎焊焊接该异种材料。冷指气缸的缸壁非常纤薄，在焊接过程中极易变形导致焊接后的冷指气缸的尺寸异常。

而且现有钎焊冷指气缸及冷指底座的气体保护装置，对钎焊焊缝难以起到有效保护作用，使得冷指气缸及冷指底座的内壁氧化严重，并且还产生多余物附着在冷指气缸及冷指底座的内壁，对红外探测器产生较大危害，不利于提高良率及质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于红外探测器激光钎焊的气体保护装置，以提高红外探测器的杜瓦的焊接质量。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的用于红外探测器激光钎焊的气体保护装置，用于红外探测器的杜瓦的环缝的激光钎焊，所述气体保护装置包括管状气管、环形气管、均流气管、气体流量控制单元以及气体供应单元；所述环形气管的外侧上设有至少两圈出气孔，每圈所述出气孔沿以所述环形气管轴线为中心的周向设置，所述环形气管置于所述环缝内且至少两圈所述出气孔倾斜朝向所述环缝的两侧，所述环形气管依次通过所述均流气管及所述气体流量控制单元与所述气体供应单元连接，用于从所述环缝的内部向所述环缝提供保护气体，且所述保护气体从环缝两侧覆盖所述环缝；

所述管状气管置于所述环缝的外部，且与所述气体供应单元连接用以从所述环缝的外部提供所述保护气体。

可选的，所述均流气管包括至少三个导气管，所述至少三个导气管的一端均匀连接于所述环形气管的圆周面上，所述至少三个导气管的另一端连接所述气体流量控制单元。

可选的，至少两圈所述出气孔对称且均匀分布于所述环形气管的圆周面上。

可选的，所述环形气管内还设有均流挡板，用于均匀所述两圈出气孔的气流。

可选的，所述均流挡板包括环形挡板，所述环形挡板的一面朝向所述均流气管在所述环形气管内的出气口。

可选的，所述环形气管上还设置有两圈出气嘴，所述出气孔设于所述出气嘴上。

可选的，所述气体流量控制单元包括流量调节阀以及气体流量表，所述气体流量表连接于所述流量调节阀与所述气体供应单元之间。

可选的，所述环形气管的材料为弹性材料。

可选的，所述红外探测器的杜瓦的环缝包括冷指气缸及冷指底座的环缝，所述环缝的直径为4毫米～45毫米。

可选的，所述两圈出气孔的间距为0.8毫米～2.5毫米，所述两圈出气孔相对所述圆周平面的倾斜角度为30°～45°，所述环形气管与所述环缝的间距为1.5毫米～2.5毫米。