[实用新型]电子级硫酸槽罐车自动清洗装置

说明书

本实用新型提供一种电子级硫酸槽罐车自动清洗装置，将硫酸槽罐车内装满清洗剂，其主要成分包括水，10‑50%的稀硫酸，80‑98%的浓硫酸，硫酸和双氧水的混合物。一种电子级硫酸槽罐车清洗装置，包括两个对立设置的台架，两个台架之间设有翻转机架，台架上设有转动装置，转动装置转动端设有液压升降装置，液压升降装置与翻转机架两端与液压升降装置连接，翻转机架底部设有折弯的承载板，承载板用于放置硫酸槽罐，硫酸槽罐内部设置有清洗剂，通过台架的转动装置进行转动清洗硫酸槽罐内部。不仅解决槽罐车化学品路跑清洗危险运输问题，同时还能解决静置清洗槽罐车存在死角及需要多次更换清洗剂的问题。

技术领域

本实用新型涉及电子化学品领域，尤其是涉及一种电子级硫酸槽罐车清洗装置。

背景技术

电子级硫酸又称超纯硫酸，属于超净高纯试剂。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的湿电子化学品，在大规模集成电路、LED 显示器、平板显示器、晶体硅太阳能等微电子工业有着广泛应用。特别是在硅圆片在加工过程中，不溶性固体颗粒或金属离子会使电路短路，电子级硫酸能够有效除去晶圆上的杂质，因此用于运输电子级硫酸的容器则至关重要。

因电子级硫酸在芯片制造工艺中是使用量最大的湿电子化学品，常用槽罐车运输，槽罐车内衬PTFE材料，新槽罐车投入使用前需要大量的清洗，常用槽罐车清洗方法主要为路跑清洗和静置清洗。路跑清洗是将装满清洗剂的硫酸槽罐车通过公路路跑晃动，将槽车内部的颗粒和有机物清洗通过这种动态的流体清洗下来，但清洗剂多为危险化学品，路跑限制诸多，管制严格。静置清洗是指将装满清洗剂的硫酸槽车静置，通过长时间的浸泡及多次更换清洗剂的方式将槽罐车清洗干净，但静置清洗存在死角，且需要多次更换清洗剂，成本颇高。

综上所述，现有的针对电子级硫酸槽罐车的清洗方法受交通管制、需要多次更换清洗剂高成本的影响，要开发一种安全高效且低成本的电子级硫酸槽罐车清洗装置及方法。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种电子级硫酸槽罐车清洗装置，采用自动翻转机架模拟槽罐车路跑晃动清洗过程，能够有效去除槽罐车内的杂质颗粒和金属杂质，为电子级硫酸提供超洁净容器。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种电子级硫酸槽罐车清洗装置，包括两个对立设置的台架，两个台架之间设有翻转机架，台架上设有转动装置，转动装置转动端设有液压升降装置，液压升降装置与翻转机架两端与液压升降装置连接，翻转机架底部设有折弯的承载板，承载板用于放置硫酸槽罐；

硫酸槽罐内部设置有清洗剂，通过台架的转动装置进行转动清洗硫酸槽罐内部。

优选方案中，两个台架设置在底座，台架一侧设有运输小车，运输小车用于运输硫酸槽罐。

优选方案中，底座上还设有地轨，运输小车与地轨滑动连接。

优选方案中，运输小车一侧还设有龙门运输架，龙门运输架上设有多个卷扬提升机，龙门运输架底部设有多个滚轮。

优选方案中，液压升降装置与翻转机架之间设有多个导柱，导柱通过多个螺母与翻转机架连接，导柱与液压升降装置滑动连接，且导柱与压升降装置之间设有滑动导向块。

优选方案中，转动装置为转动液压缸或者为电机转动，转动装置输出端与旋转板连接，旋转板与液压升降装置连接。

优选方案中，旋转板上还设有旋转锁扣装置，旋转锁扣装置为液压锁紧装置，翻转机架上设有锁紧孔，旋转锁扣装置的锁紧杆穿过旋转板插在锁紧孔内部锁紧翻转机架的位置。

优选方案中，硫酸槽罐设在硫酸槽罐架内部，翻转机架上还设有锁紧螺栓，锁紧螺栓穿过翻转机架和硫酸槽罐架固定硫酸槽罐。

本实用新型提供了一种电子级硫酸槽罐车清洗装置，本实用新型具有以下有益效果为：