[实用新型]一种真空镀导电布用深冷装置

权利要求书

1.一种真空镀导电布用深冷装置，其特征在于：所述真空镀导电布用深冷装置（2）设置在真空设备（1）内，包括深冷捕集铜管（20），所述深冷捕集铜管（20）包括进管段（210）、出管段（220）、上盘管段（230）、下盘管段（240）和侧管段（250），所述深冷捕集铜管（20）通过支撑座（4）固定在第一真空腔壁（101）上，所述上盘管段（230）和下盘管段（240）分别设在所述第一真空腔壁（101）的上部和下部，所述上盘管段（230）和所述下盘管段（240）关于所述第一真空腔壁（101）的中心线呈轴对称，所述上盘管段（230）和所述下盘管段（240）通过所述侧管段（250）连接，所述上盘管段（230）连接所述进管段（210），所述下盘管段（240）连接所述出管段（220），所述进管段（210）的自由端和所述出管段（220）的自由端部分别伸出所述真空设备（1）外且分别通过法兰（105）固定在所述真空设备（1）上。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀导电布用深冷装置，其特征在于：还包括套管（22），所述套管（22）套接深冷捕集铜管（20），所述套管（22）外侧套接焊圈（5），所述焊圈（5）安装在所述支撑座（4）上。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀导电布用深冷装置，其特征在于：所述深冷捕集铜管（20）为一体铜管折弯而成。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀导电布用深冷装置，其特征在于：抽气口（102）开设在所述第一真空腔壁（101）的中间位置，且所述深冷捕集铜管（20）围住所述抽气口（102）。

5.根据权利要求1或2所述的一种真空镀导电布用深冷装置，其特征在于：所述侧管段（250）包括依次连通的第一侧管段（251）、第二侧管段（252）和第三侧管段（253），所述出管段（220）依次连通的第一出管段（221）、第二出管段（222）和第三出管段（223），所述第一侧管段（251）、所述第三侧管段（253）、所述第一出管段（221）、所述第三出管段（223）和所述进管段（210）为水平放置，所述第二侧管段（252）和所述第二出管段（222）为竖直放置，所述上盘管段（230）和下盘管段（240）分别包括多个s型管段，多个所述S型管段首尾相连，所述上盘管段（230）的第一个S型管段与所述第一侧管段（251）的自由端连通，所述上盘管段（230）的最后一个S型管段与所述进管段（210）连通，所述下盘管段（240）的第一个S型管段与所述第三出管段（223）的自由端连通，所述下盘管段（240）的最后一个S型管段与所述第三侧管段（253）连通。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀导电布用深冷装置，其特征在于：所述支撑座（4）包括第一支撑座和第二支撑座，所述第二支撑座设包括两个相互平行的上第二支撑座和两个相互平行的下第二支撑座，所述上第二支撑座和所述下第二支撑座分别设在固定在所述第一真空腔壁（101）上部和下部，每个所述第二支撑座上分别设有多个等间距焊圈（5），每个所述上盘管段（230）的所述S型管段包括上水平直管段（231）和两个上圆弧弯管段（232），每个所述下盘管段（240）的所述S型管段包括下水平直管段（241）和两个下圆弧弯管段（242），所述第一侧管段（251）、所述进管段（210）和每个所述上水平直管段（231）分别对应两个上第二支撑座的各一个所述焊圈（5），所述第三侧管段（253）、所述第三出管段（223）和每个所述下水平直管段（241）分别对应两个所述下第二支撑座的各一个所述焊圈（5）。

7.根据权利要求2所述的一种真空镀导电布用深冷装置，其特征在于：所述套管（22）为塑料套管。