[实用新型]一种碳化硅粉料合成装置

权利要求书

1.一种碳化硅粉料合成装置，其特征在于，包括：

坩埚，所述坩埚包括坩埚腔体和设置于所述坩埚腔体开口处的盖体；

输送组件，所述输送组件设置于所述坩埚腔体内远离所述盖体的一侧，所述输送组件包括隔板和输送管，所述隔板将所述坩埚腔体沿轴向分隔为第一腔室和第二腔室，所述输送管连接于所述隔板并设置在所述第二腔室内，所述第一腔室和所述第二腔室之间通过输送管相连通；

气体供应装置，所述气体供应装置与所述坩埚腔体远离所述盖体的一端相连，用于向所述第一腔室供应保护气体。

2.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成装置，其特征在于，所述输送组件还包括支撑件，所述支撑件沿所述第一腔室的侧壁设置且与所述隔板抵接。

3.根据权利要求2所述的碳化硅粉料合成装置，其特征在于，所述支撑件为环形体。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的碳化硅粉料合成装置，其特征在于，所述隔板表面包覆有金属碳化物层。

5.根据权利要求4所述的碳化硅粉料合成装置，其特征在于，所述金属碳化物层包括钽、铪、铌、钛、锆、钨和钒中至少一种的碳化物。

6.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成装置，其特征在于，所述输送管包括多个可拆卸连接的管段，每个所述管段均设置有多个排气孔。

7.根据权利要求6所述的碳化硅粉料合成装置，其特征在于，其中两个相邻的所述管段通过螺纹结构或者榫卯结构连接。

8.根据权利要求7所述的碳化硅粉料合成装置，其特征在于，所述管段为石墨材质，所述管段的孔隙率为30％-70％。

9.根据权利要求6所述的碳化硅粉料合成装置，其特征在于，所述管段包括第一管段、第二管段，所述第一管段的孔隙率大于所述第二管段。

10.根据权利要求6-9中任一项所述的碳化硅粉料合成装置，其特征在于，多个所述输送管连接于所述隔板靠近所述盖体的一侧，且均匀排布。