[实用新型]一种锗单晶炉用除尘清理装置

说明书

本实用新型公开了一种锗单晶炉用除尘清理装置，包括外置炉框、内炉、驱动电机、传动杆、除尘笼、抽风管和抽风泵机。本实用新型锗单晶炉用除尘清理装置，驱动电机带动电机转轴进行转动，电机转轴通过水平杆带动短杆进行转动，集灰网跟随转动，集灰网贴在外置炉框的内壁上发生转动，集灰网带动转动套框在活动轮上进行转动，同时集灰网将外置炉框内壁上的灰尘吸纳进入到集灰网中，进入到集灰网中的灰尘吸附在粘灰垫上，保持外置炉框内部灰尘的集中，该装置能够有效的将锗单晶炉内壁上附着的杂质进行清理并汇集，避免使真空泵受损，保持锗单晶炉的正常运作。

技术领域

本实用新型涉及锗单晶炉技术领域，具体为一种锗单晶炉用除尘清理装置。

背景技术

锗单晶做为重要的半导体材料，制备锗单晶硅的过程中需要用到的设备是锗单晶炉，锗单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨电阻加热器将硅半导体材料溶化，并采用直拉法生长无错位锗单晶硅的设备，在制备过程中需要将锗单晶炉内的气体排出，通常采用真空泵抽出，但是其锗单晶炉内所排出的气体中含有较多的杂质附着在锗单晶炉的内壁上，在不将杂质清理，直接进行气体排出，容易导致真空泵的堵塞，不仅影响锗单晶炉的正常运作，还是导致真空泵受损。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种锗单晶炉用除尘清理装置，能够有效的将锗单晶炉内壁上附着的杂质进行清理并汇集，避免使真空泵受损，保持锗单晶炉的正常运作，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种锗单晶炉用除尘清理装置，包括外置炉框、内炉、驱动电机、传动杆、除尘笼、抽风管和抽风泵机，所述外置炉框的内部设有内炉，所述内炉的上方设有驱动电机，所述驱动电机的底端连接有传动杆，所述传动杆远离驱动电机的一端连接有除尘笼，所述外置炉框的顶端安插有抽风管，所述抽风管远离外置炉框的一端连接在抽风泵机上；

所述除尘笼包括集灰网、连接端头、活动端头、内置杆和粘灰垫，所述集灰网的顶端固定安装有连接端头，所述集灰网的底端连接有活动端头，所述活动端头与连接端头之间设有内置杆，所述内置杆的外侧设有粘灰垫；

所述传动杆包括电机转轴、水平杆、短杆、活动轮、转动套框和内置环板，所述电机转轴的顶端连接在驱动电机上，所述电机转轴的底端固定连接有水平杆，所述水平杆远离电机转轴的一端固定连接有短杆，所述短杆的底端固定连接有活动轮，所述活动轮的外侧设有转动套框，所述转动套框的内壁上设有内置环板。

优选的，所述粘灰垫的内侧固定粘连在内置杆上，粘灰垫的外侧涂有粘性胶水。

优选的，所述活动端头包括端头本体、安插框和内置螺纹，所述端头本体的顶端固定安装有安插框，所述安插框的内部开设有内置螺纹，安插框的外侧开设有外螺纹。

优选的，所述活动轮的外侧开设有环槽，内置环板安插在活动轮的环槽中，活动轮沿着内置环板的轨迹转动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型锗单晶炉用除尘清理装置，驱动电机带动电机转轴进行转动，电机转轴通过水平杆带动短杆进行转动，集灰网跟随转动，集灰网贴在外置炉框的内壁上发生转动，集灰网带动转动套框在活动轮上进行转动，同时集灰网将外置炉框内壁上的灰尘吸纳进入到集灰网中，进入到集灰网中的灰尘吸附在粘灰垫上，保持外置炉框内部灰尘的集中，该装置能够有效的将锗单晶炉内壁上附着的杂质进行清理并汇集，避免使真空泵受损，保持锗单晶炉的正常运作。

附图说明

图1为本实用新型的剖视图；

图2为本实用新型传动杆的结构示意图；

图3为本实用新型除尘笼的剖视图；

图4为本实用新型活动端头的剖视图。