[实用新型]一种晶圆片的氮气盛放箱有效

专利信息
申请号: 202123251007.5 申请日: 2021-12-22
公开(公告)号: CN216835245U 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 阙进林;李永祥 申请(专利权)人: 苏州亚信华电子科技有限公司
主分类号: B65D81/20 分类号: B65D81/20;B65D25/04;B65D25/24;B65D85/04
代理公司: 苏州睿翼专利代理事务所(普通合伙) 32514 代理人: 朱林辉
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶圆片 氮气 盛放
【权利要求书】:

1.一种晶圆片的氮气盛放箱,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)内部的两侧之间横向设置有托板(4),所述箱体(1)的一侧安装有氮气发生器(12),所述氮气发生器(12)的顶端和箱体(1)一侧的顶端之间固定连接有导管(11),所述箱体(1)一侧的底端固定连接有L型金属板(13),所述箱体(1)内部的两侧分别固定连接有固定板(17),所述托板(4)的顶端设置有便于拿取物料结构;

所述便于拿取物料结构包括物料架板(6),所述物料架板(6)固定连接在托板(4)的顶端,所述物料架板(6)顶端的内部设置有三组内槽(7),所述内槽(7)内部的两侧之间活动连接有多组转辊(8)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片的氮气盛放箱,其特征在于:所述转辊(8)的外部包覆有橡胶皮带(9),所述橡胶皮带(9)的顶端和物料架板(6)的顶端所在水平面相一致。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片的氮气盛放箱,其特征在于:所述转辊(8)呈等间距排列。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片的氮气盛放箱,其特征在于:所述L型金属板(13)的一侧横向焊接有绕桩(14),所述L型金属板(13)一侧的顶端安装有铜线(15),所述铜线(15)的底端活动连接有铜锭(16),所述铜线(15)沿着绕桩(14)的外部均匀卷绕。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片的氮气盛放箱,其特征在于:所述固定板(17)的一侧固定连接有多组支撑条(18),所述支撑条(18)的底端安装有三组支撑棱(19),所述支撑条(18)的顶端胶结有硅胶防滑条(20),所述硅胶防滑条(20)的顶端和托板(4)的底端所在水平面相一致,二者相互接触。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆片的氮气盛放箱,其特征在于:所述箱体(1)前端的一侧活动铰接有箱门(2),所述箱门(2)的内部设置有观察窗(3),所述箱门(2)前端的一侧安装有开关把手(5),所述箱体(1)前端的顶端固定连接有控制面板(10)。

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