[实用新型]一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构

权利要求书

1.一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构，其特征在于：包括竖直板(2)和支撑板(1)，所述竖直板(2)固定设置在支撑板(1)下侧壁一端，且支撑板(1)上设置有多组均匀分布的支撑座(4)，多组所述支撑座(4)均平行设置，每个所述支撑座(4)顶端固定连接有对应的插座(6)，所述插座(6)上插设有多组均匀分布的顶齿(7)，多组所述顶齿(7)均匀排列在插座(6)上，且每个顶齿(7)上均设置有对应的夹紧槽(72)，相对的两个所述夹紧槽(72)内共同夹紧有对应的硅片(8)，每组顶齿(7)上均共同竖直滑动套设有对应的定位框(10)，每个所述定位框(10)上均设置有与顶齿(7)匹配的条型开口(12)，且顶齿(7)贯穿条型开口(12)设置，所述定位框(10)两侧螺纹连接有对应的定位销(11)，所述定位销(11)贯穿定位框(10)端壁设置。

2.根据权利要求1所述的一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构，其特征在于：每个所述插座(6)上均设置有对应的插槽(9)，每个所述顶齿(7)下端均设置有与插槽(9)匹配的插头(71)，所述插头(71)棱边做倒角处理。

3.根据权利要求1所述的一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构，其特征在于：所述定位框(10)上设置有开口向下的凹槽(13)，多组所述条型开口(12)均与凹槽(13)连通，所述凹槽(13)与插座(6)匹配设置。

4.根据权利要求1所述的一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构，其特征在于：所述竖直板(2)与支撑板(1)下侧壁通过多组位置对称的加强肋(3)固定连接，每个所述加强肋(3)均设置成三角架。

5.根据权利要求1所述的一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构，其特征在于：相邻的两个支撑座(4)之间均固定连接有多组加强板(5)，多组所述加强板(5)对称设置。

6.根据权利要求1所述的一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构，其特征在于：每个所述支撑座(4)与支撑板(1)之间均通过对应的紧固螺栓紧固连接，且支撑座(4)中心处开设有矩形开口。

7.根据权利要求1所述的一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构，其特征在于：每个所述支撑座(4)的厚度均为支撑板(1)厚度的两倍，且插座(6)的厚度大于支撑座(4)的厚度。

8.根据权利要求4所述的一种顶起两张二分之一硅片的快插式石英舟顶齿机构，其特征在于：每个所述加强肋(3)均设置成空心管状，且加强肋(3)采用不锈钢材料制作而成。