[实用新型]一种晶圆划片系统

权利要求书

1.一种晶圆划片系统，其特征在于，包括：

晶圆背面检测装置、晶圆清洗装置及晶圆划片装置；

所述晶圆背面检测装置用于对待划片的晶圆进行背面检测，判断晶圆背面是否干净；所述晶圆清洗装置用于对背面不干净的晶圆进行清洗；

所述晶圆划片装置用于对背面干净的晶圆进行划片。

2.根据权利要求1所述的晶圆划片系统，其特征在于，所述晶圆背面检测装置包括：

第一腔体，设置在所述第一腔体内的透明平台，设置在所述第一腔体内并位于所述透明平台下方的图像采集单元；

所述透明平台用于承托放置在其上的晶圆；

所述图像采集单元用于采集晶圆的背面图像，以使得能够根据背面图片判断晶圆背面是否干净。

3.根据权利要求1所述的晶圆划片系统，其特征在于，所述晶圆背面检测装置包括：

第一腔体，设置在所述第一腔体侧部的内壁上的第一凸块，设置在所述第一腔体内并位于所述第一凸块下方的图像采集单元；

所述第一凸块用于承托放置在其上的晶圆；

所述图像采集单元用于采集晶圆的背面图像，以使得能够根据所述背面图像判断晶圆背面是否干净。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆划片系统，其特征在于，所述晶圆清洗装置包括：

第二腔体，设置在所述第二腔体侧部下端或底部并与所述第二腔体连通的输水管；

所述输水管用于向所述第二腔体内注入去离子水以及将所述第二腔体内的去离子水排出，以实现对晶圆的浸泡清洗。

5.根据权利要求4所述的晶圆划片系统，其特征在于，所述晶圆清洗装置还包括：

设置在所述第二腔体顶部的内壁上的加热电阻丝；

所述加热电阻丝用于在所述第二腔体内进行加热，以实现对晶圆的干燥。

6.根据权利要求5所述的晶圆划片系统，其特征在于，所述晶圆清洗装置还包括：

设置在所述第二腔体侧部的内壁上的第二凸块；

所述第二凸块用于承托放置在其上的晶圆。

7.根据权利要求4所述的晶圆划片系统，其特征在于，所述晶圆背面检测装置、所述晶圆清洗装置及所述晶圆划片装置依次设置，还包括：

与所述晶圆清洗装置叠设的晶圆传输装置；

所述晶圆传输装置用于对背面干净的晶圆进行暂存。

8.根据权利要求7所述的晶圆划片系统，其特征在于，所述晶圆传输装置包括：

第三腔体，设置在所述第三腔体侧部的内壁上的第三凸块；

所述第三凸块用于承托放置在其上的晶圆。

9.根据权利要求8所述的晶圆划片系统，其特征在于，所述晶圆背面检测装置还包括设置在所述第一腔体一侧部并能够开关的第一密封门，分别设置在所述第一腔体另一侧部并能够开关的第二密封门和第三密封门；所述晶圆清洗装置还包括设置在所述第二腔体一侧部并能够开关的第四密封门；所述晶圆传输装置还包括设置在所述第三腔体一侧部并能够开关的第五密封门，设置在所述第三腔体另一侧部并能够开关的第六密封门；

其中，所述第二密封门与所述第四密封门对应，所述第三密封门与所述第五密封门对应。

10.根据权利要求9所述的晶圆划片系统，其特征在于，所述晶圆背面检测装置、所述晶圆清洗装置、所述晶圆传输装置分别包括分别与所述第一密封门、所述第二密封门、所述第三密封门、所述第四密封门、所述第五密封门、所述第六密封门连接的运动单元；

多个所述运动单元分别用于带动所述第一密封门、所述第二密封门、所述第三密封门、所述第四密封门、所述第五密封门、所述第六密封门进行运动，以实现自动开关。