[实用新型]全包围式高效圆片烤箱

说明书

本实用新型全包围式高效圆片烤箱，包括烤箱支架，烤箱支架包括对应设置的下装置板和上装置板，上装置板和下装置板间设置有圆片承托组件，圆片承托组件包括对应设置于下装置板左右两侧的一组承载架A，且对应一组承载架A，下装置板后侧还设置有承载架B，一组承载架A和承载架B配合下装置板前侧呈圆状分布，上装置板连接于一组承载架A和承载架B，形成全包围圆片承托式烤箱结构。本实用新型通过仿圆片设置的边缘承托方式进行圆片的承托，保证圆片热处理时的受热均匀度，保证产品制备质量。

技术领域

本实用新型涉及圆片制备技术即制备设备技术领域，具体的，其展示一种全包围式高效圆片烤箱。

背景技术

在晶圆制备过程中，需要对晶圆进行热处理，加热一般使用烤箱作为热处理工具，现阶段使用的烤箱，一般位设置托盘进行圆片的支撑，但进行热处理时，由于托盘的存在，托盘接触区的圆片受热和非托盘承托区的部分首部均匀度不一，影响圆片制备质量。

因此，有必要提供一种全包围式高效圆片烤箱来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种全包围式高效圆片烤箱。

技术方案一如下：

一种全包围式高效圆片烤箱，包括烤箱支架，烤箱支架包括对应设置的下装置板和上装置板，上装置板和下装置板间设置有圆片承托组件，圆片承托组件包括对应设置于下装置板左右两侧的一组承载架A，且对应一组承载架A，下装置板后侧还设置有承载架B，一组承载架A和承载架B配合下装置板前侧呈圆状分布，上装置板连接于一组承载架A和承载架B，形成全包围圆片承托式烤箱结构。

进一步的，承载架B数量位两个。

进一步的，承载架A和承载架B上均对应设置有若干圆片托槽。

进一步的，圆片托槽的存储板的端部设置有防止碰伤圆片的端部斜角进一步的，承载架A上均匀开设有若干散热孔。

进一步的，一组承载架A上均设置有把手。

进一步的，下装置板和上装置板间设置有转动定位组件。

进一步的，转动定位组件包括分布可转动连接于下装置板和上装置板上的一组转动块，一组转动块上设置有下定位柱，下装置板和上装置板对应下定位柱开设有定位槽，且下定位柱为中空主体，内设置有上定位柱，上定位柱连接有上定位体。

进一步的，下装置板和上装置板间设置有前侧连接组件。

进一步的，前侧连接组件包括对应突出圆片承载区的一组下装置板连接体，对应一组下装置板连接体，上装置板上设置有上装置板连接体，下装置板连接体和上装置板连接体通过连接板连接。

与现有技术相比，本实用新型通过仿圆片设置的边缘承托方式进行圆片的承托，保证圆片热处理时的受热均匀度，保证产品制备质量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图之一。

图2是本实用新型的结构示意图之二。

图3是本实用新型的结构示意图之三。

图4是本实用新型的结构示意图之四。

具体实施方式

实施例：

参照图1-4，本实施例展示一种全包围式高效圆片烤箱，包括烤箱支架100，烤箱支架100包括对应设置的下装置板1和上装置板2，上装置板2和下装置板1间设置有圆片承托组件200，圆片承托组件200包括对应设置于下装置板1左右两侧的一组承载架A3，且对应一组承载架A3，下装置板1后侧还设置有承载架B4，一组承载架A3和承载架B4配合下装置板1前侧呈圆状分布，上装置板2连接于一组承载架A3和承载架B4，形成全包围圆片承托式烤箱结构。