[实用新型]一种气浮驱动托盘及气浮装置

权利要求书

1.一种气浮驱动托盘，包括托盘本体（21），用于承托衬底并带动衬底旋转，其特征在于，所述托盘本体（21）的底部为圆形，所述托盘本体（21）底部设置有若干圆周阵列的气流槽（22），所述气流槽（22）为楔形槽（222）或直线槽（221），所述楔形槽（222）两侧壁的长度不相等，所述直线槽（221）两侧壁的深度不相等。

2.根据权利要求1所述的气浮驱动托盘，其特征在于，所述楔形槽（222）的两侧壁的深度不相等。

3.根据权利要求2所述的气浮驱动托盘，其特征在于，所述楔形槽（222）的长边（2221）所在侧壁处的深度小于所述楔形槽（222）的短边（2222）所在侧壁处的深度。

4.根据权利要求1所述的气浮驱动托盘，其特征在于，所述楔形槽（222）到所述托盘本体（21）底部中心的最小距离大于所述托盘本体（21）底部半径的一半。

5.根据权利要求1所述的气浮驱动托盘，其特征在于，所述直线槽（221）的两侧壁长度相同。

6.根据权利要求1所述的气浮驱动托盘，其特征在于，所述气流槽（22）的数量为4-12个。

7.一种气浮装置，所述气浮装置包括：

气流导出件（10），用于将外部气流导出至所述气浮装置中；

气浮驱动托盘（20），包括托盘本体（21），所述气浮驱动托盘（20）置于所述气流导出件（10）上，所述气流导出件（10）导出的气流将所述气浮驱动托盘（20）托起，同时所述气流导出件（10）导出的气流驱动所述气浮驱动托盘（20）旋转；

其特征在于，所述托盘本体（21）的底部为圆形，所述托盘本体（21）底部设置有若干圆周阵列的气流槽（22），所述气流槽（22）为楔形槽（222）或直线槽（221），所述楔形槽（222）两侧壁的长度不相等，所述直线槽（221）两侧壁的深度不相等。

8.根据权利要求7所述的气浮装置，其特征在于，所述气流导出件（10）上设置有出气口（11）。

9.根据权利要求7所述的气浮装置，其特征在于，所述气流导出件（10）上设置有气嘴（40），所述气嘴（40）的入口连接有相适配的衔接气嘴（50），所述气嘴（40）的入口与所述衔接气嘴（50）设置为锥形。

10.根据权利要求7所述的气浮装置，其特征在于，所述托盘本体（21）的底部通过中心转轴（30）与所述气流导出件（10）旋转连接，且所述托盘本体（21）的底部与所述气流导出件（10）之间为间隙配合。