[实用新型]一种用于靶材的旋转顶升系统

权利要求书

1.一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：包括旋转轴（3）和顶升轴（4）；

所述旋转轴（3）和顶升轴（4）均设置在固定块（5）内；

所述旋转轴（3）和顶升轴（4）上均沿螺旋状排布设置有螺旋叶片，所述旋转轴（3）与顶升轴（4）的螺旋叶片之间为啮合结构，并在固定块（5）的内侧壁上设置有与螺旋叶片结构匹配的螺旋状卡齿（6）；

所述顶升轴（4）的顶部设置靶材孔（7），所述靶材孔（7）包括靶材放置位（7.1）和顶升位（7.2）；

所述顶升位（7.2）的内径与顶升轴（4）相匹配；

所述靶材放置位（7.1）的内径大于顶升位（7.2），且与靶材（8）相匹配；

所述顶升位（7.2）上方的一侧设置离子枪（9）。

2.根据权利要求1所述的一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：所述靶材孔（7）有多个，多个靶材孔（7）沿圆周状分布在靶材转盘（10）内。

3.根据权利要求1所述的一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：所述顶升轴（4）顶部与靶材（8）的接触面为喷砂面。

4.根据权利要求1所述的一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：所述旋转轴（3）与传动轴（2）相连，所述传动轴（2）的另一端连接电机（1）。

5.根据权利要求1所述的一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：所述靶材放置位（7.1）内设置靶材（8），所述靶材（8）的数量为至少一个。

6.根据权利要求2所述的一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：所述靶材转盘（10）设置在凸轮分割器上。