[实用新型]一种半导体零部件清洗后带有预处理功能的输送装置有效

专利信息
申请号: 202123287096.9 申请日: 2021-12-24
公开(公告)号: CN216620467U 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 辛长林;阚云峰;刘洪刚 申请(专利权)人: 安徽高芯众科半导体有限公司
主分类号: F26B5/08 分类号: F26B5/08;F26B11/08;F26B25/16;F26B25/00;F26B23/06;B65G15/30
代理公司: 西安赛嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 61275 代理人: 胡正耀
地址: 247100 安徽省池州市直*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 零部件 清洗 带有 预处理 功能 输送 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体零部件清洗后带有预处理功能的输送装置,包括机身(1),其特征在于:所述机身(1)的内部安装有输送带(2),所述机身(1)的左侧上端固定安装有预处理箱(3),所述预处理箱(3)的内部设置有甩干机构(4),所述甩干机构(4)包括伺服电机(401),所述伺服电机(401)固定安装在预处理箱(3)的上表面,所述伺服电机(401)的动力输出端通过联轴器传动连接有转轴(402),所述转轴(402)的表面固定安装有转动齿轮(403),所述转动齿轮(403)通过齿条(404)啮合连接有筛筒(405),所述筛筒(405)的上下两端分别与预处理箱(3)的上下两端内壁转动连接,所述预处理箱(3)的后侧设置有水汽收集机构(5)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体零部件清洗后带有预处理功能的输送装置,其特征在于:所述水汽收集机构(5)包括抽风机(501)、收集箱(503)、导流槽(505)和出水管(506),所述抽风机(501)固定安装在预处理箱(3)的后壁上端,所述抽风机(501)的后端安装有通气管(502),且通气管(502)的前端与预处理箱(3)的后侧外壁固定连接,所述收集箱(503)设置在机身(1)的后端,所述通气管(502)的下端插接在收集箱(503)的内部,所述收集箱(503)的内壁上端固定安装有冷凝板(504),所述冷凝板(504)设置在通气管(502)的正下方,所述导流槽(505)开设在预处理箱(3)的内底壁,所述出水管(506)固定安装在预处理箱(3)的后壁下端,所述出水管(506)的前端与导流槽(505)相连通,所述出水管(506)的后端插接在收集箱(503)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体零部件清洗后带有预处理功能的输送装置,其特征在于:所述预处理箱(3)的上表面右侧固定安装有加热器(6),所述预处理箱(3)的内部固定安装有加热棒(7),所述加热器(6)与加热棒(7)电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体零部件清洗后带有预处理功能的输送装置,其特征在于:所述预处理箱(3)的上端安装有进料口(8),所述进料口(8)的下端贯穿预处理箱(3)和筛筒(405)的上端并延伸至筛筒(405)的内部,所述筛筒(405)的下端中间开设有出料口(9),且出料口(9)设置在输送带(2)的正上方。

5.根据权利要求4所述的一种半导体零部件清洗后带有预处理功能的输送装置,其特征在于:所述预处理箱(3)的上下两端内部均固定安装有电动伸缩杆(10),两个所述电动伸缩杆(10)的伸缩端均固定连接有移动板(11),两个所述移动板(11)分别插接在进料口(8)和出料口(9)的内部。

6.根据权利要求2所述的一种半导体零部件清洗后带有预处理功能的输送装置,其特征在于:所述收集箱(503)的内部固定安装有过滤网,所述收集箱(503)的后壁下端开设有排水口,且排水口内部安装有阀门。

7.根据权利要求1所述的一种半导体零部件清洗后带有预处理功能的输送装置,其特征在于:所述转动齿轮(403)和齿条(404)均设置有两个,两个所述齿条(404)分别固定安装在筛筒(405)的上下两端外壁。

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