[实用新型]一种水基切割液的真空消泡过滤设备有效
申请号: | 202123296655.2 | 申请日: | 2021-12-24 |
公开(公告)号: | CN216798901U | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | 沈青 | 申请(专利权)人: | 江苏东之创半导体科技有限公司 |
主分类号: | B01D29/03 | 分类号: | B01D29/03;B01D29/72;B01D19/02;B08B9/087 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切割 真空 过滤 设备 | ||
本实用新型公开了一种水基切割液的真空消泡过滤设备,包括外壳体,外壳体上侧设有顶盖,顶盖上侧设有搅拌电机,搅拌电机下端设有搅拌轴,搅拌轴下侧安装有搅拌杆,搅拌杆外侧安装有消泡狼牙棒,外壳体内上部滑动安装有过滤网,过滤网上侧安装有激振杆和振动机构。本实用新型通过外壳体内部设有的搅拌轴、搅拌杆和消泡狼牙棒,且搅拌杆和消泡狼牙棒设置有多排,使得通过搅拌电机驱动搅拌杆和消泡狼牙棒旋转调节对过滤的切割液进行消泡处理,消泡效果较好;外壳体内上部滑动安装有过滤网对切割液进行过滤,同时通过过滤网上侧设有的激振杆和振动机构对过滤网进行激振调节以提高过滤效率。
技术领域
本实用新型涉及光伏硅片切割液生产技术领域,具体是一种水基切割液的真空消泡过滤设备。
背景技术
光伏半导体硅片生产时,是通过金刚线配合切割液将硅锭分切成一定厚度的硅片。因此,切割液的性能对金刚线切割硅锭的效率、精度及金刚线的使用寿命等具有至关重要的影响。
由于切割液是由润滑剂、润湿剂、消泡剂、杀菌剂、PH调节剂、亲水性纳米二氧化硅颗粒及水等多种组分混合搅拌获得,组分中的消泡剂虽然可以消除泡沫,其主要是用于金刚线切割过程中的消泡,而切割液生产时的搅拌过程产生的泡沫量较大,因此组分中的消泡剂通常无法有效抑制泡沫的产生,而泡沫大量存在会导致溢缸而影响现场作业节奏,且大量泡沫会导致浆液难以均匀分布在金刚线表面,降低冷却效果,不能很好的带走切割中产生的硅粉,严重影响切割。
由于在搅拌混合过程中会产生大量的泡沫,因此,为了避免泡沫的存在影响后续切割液在金刚线切割硅锭时的正常使用,需要将混料后的切割液中存在的泡沫滤除,同时将切割液中大颗粒杂质进行滤除(组分中的亲水性纳米二氧化硅颗粒具有一定粒径范围,超出该范围的颗粒均属于杂质颗粒,均会对金刚线的机械性能产生不良影响)。
实用新型内容
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种水基切割液的真空消泡过滤设备,包括外壳体且所述外壳体外侧安装有PLC控制柜,所述外壳体下侧安装有下支架,所述外壳体上侧安装有顶盖且所述顶盖上端一侧安装有进料斗,所述顶盖上侧中部安装有搅拌电机,所述搅拌电机下端传动连接有搅拌轴,所述搅拌轴下侧安装有搅拌杆,所述搅拌杆外侧安装有消泡狼牙棒,所述外壳体内上部滑动安装有过滤网,所述过滤网上侧安装有激振杆,所述激振杆一端传动连接有振动机构,所述外壳体侧壁开设有排杂口,所述外壳体下侧中部安装有排料口。
进一步的,所述排杂口上安装有第一阀门,所述排料口上安装有第二阀门。
进一步的,所述搅拌杆外端安装有刮料片,且刮料片设置成三棱板状。
进一步的,所述振动机构包括设置在激振杆上端一侧的激振板,所述顶盖一端上侧安装有振动电机,所述振动电机一端传动连接有凸轮,所述凸轮设置在激振板下侧,所述激振杆与顶盖滑动设置,且激振杆外侧套设有弹簧。
进一步的,所述过滤网中部一侧安装有连接座,所述搅拌轴与连接座滑动设置。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过外壳体内部设有的搅拌轴、搅拌杆和消泡狼牙棒,且搅拌杆和消泡狼牙棒设置有多排,使得通过搅拌电机驱动搅拌杆和消泡狼牙棒旋转调节以对过滤的切割液进行消泡处理,消泡效果较好,结构简单,操作方便;
2、本实用新型而且外壳体内上部滑动安装有过滤网,便于对切割液进行过滤,同时通过过滤网上侧设有的激振杆和振动机构对过滤网进行激振调节以防止滤网堵塞,而且便于进行排杂以提高过滤效率;
3、本实用新型通过过滤网中部一侧安装有连接座,搅拌轴与连接座滑动设置,能够对过滤网滑动调节时进行导向处理以提高过滤网滑动安装使用的结构稳定性;
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