[实用新型]一种双面蒸镀装置

说明书

本实用新型实施例提供一种双面蒸镀装置，其包括第一蒸镀单元、第二蒸镀单元和第三蒸镀单元，第一蒸镀单元包括第一蒸镀架，相互平行的设置于第一蒸镀架的第一侧第一放卷辊和第一收卷辊，第一放卷辊在竖直方向上的高度低于所述第一收卷辊；第二蒸镀单元包括第二蒸镀架，相互平行设置于第二蒸镀架的第一侧的第一转向辊和第二转向辊，且第一转向辊在竖直方向上的高度低于第二转向辊；第三蒸镀单元包括第一蒸镀源和第二蒸镀源，第一蒸镀源和第二蒸镀源的两端分别与第一蒸镀架的第一侧和第二蒸镀架的第一侧连接，第一蒸镀源在竖直方向上的高度低于第二蒸镀源。本实用新型实施例提供的双面蒸镀装置为立体设置，占地空间小，空间利用率高。

技术领域

本实用新型涉及薄膜蒸镀技术领域，具体涉及一种双面蒸镀装置。

背景技术

目前，柔性导电材料在电子、屏蔽、电容、汽车、新能源、航天行业得到广泛应用，其主要发展趋势为材料越来越薄、导电性能要求越来越高，材料的厚度由原来的10～50μm发展到2～16μm，称为超薄柔性导电材料，电子产品对导电材料的导电性能要求的不断提高，就要求膜面金属镀层越来越厚，同时镀层品质越来越高；蒸镀是指将待蒸镀材料放置在坩埚等耐高温容器里，加热使其融化，从而使得待蒸镀材料气化，沉积在路过的薄膜上。现有的蒸镀机均为平铺设计，占地空间大，空间利用率低。除此之外，当前的蒸镀装置在完成一卷薄膜镀膜后，需要打开真空腔体继续放卷，不能一次性蒸镀多卷薄膜，也不能进行双面的蒸镀，效率低下。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种真空薄膜蒸镀机，以解决现有技术中真空空间利用率低且每次只能生产一卷薄膜的技术问题。

为达上述目的，本实用新型实施例提供了一种双面蒸镀装置，其包括第一蒸镀单元、第二蒸镀单元和第三蒸镀单元，其中，

所述第一蒸镀单元包括：

第一蒸镀架；

第一放卷辊和第一收卷辊，相互平行的设置于所述第一蒸镀架的第一侧，且所述第一放卷辊在竖直方向上的高度低于所述第一收卷辊；

所述第二蒸镀单元包括：

第二蒸镀架；

第一转向辊和第二转向辊，相互平行设置于所述第二蒸镀架的第一侧，且所述第一转向辊在竖直方向上的高度低于所述第二转向辊；

所述第三蒸镀单元包括：

第一蒸镀源和第二蒸镀源，所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源的两端分别与所述第一蒸镀架的第一侧和所述第二蒸镀架的第一侧连接，所述第一蒸镀源在竖直方向上的高度低于所述第二蒸镀源。

在一些可能的实施方式中，所述第二蒸镀单元还包括：

第一挤压辊第二挤压辊，分别安装于所述第二蒸镀架上，所述第一挤压辊与所述第一转向辊滚动接触，所述第二挤压辊与所述第二转向辊滚动接触。

在一些可能的实施方式中，所述第一放卷辊与所述第一转向辊在竖直方向上的安装高度相同；

所述第一收卷辊与所述第二转向辊在竖直方向上的安装高度相同。

在一些可能的实施方式中，所述第一蒸镀单元还包括：

第四转向辊，设置于所述第一放卷辊和所述第一收卷辊之间；

第五转向辊，设置于所述第四转向辊和所述第一收卷辊之间；

所述第二蒸镀单元还包括：

第三转向辊，设置于所述第一转向辊和所述第二转向辊之间；

第六转向辊，设置于所述第三转向辊和所述第二转向辊之间；

所述第三蒸镀单元还包括：