[实用新型]抛光装置

说明书

本实用新型涉及抛光设备领域，公开了一种抛光装置，包括抛光盘以及进水三通管，抛光盘内设水路，水路设有进水口和出水口，进水三通管的一端与进水口连接，另两端用于分别向进水三通管内通入热水和冷水，并对应设有用于控制热水流量的进热水阀和用于控制冷水流量的进冷水阀，以使热水和冷水在进水三通管内混合后，经进水口进入水路。通过上述技术方案，热水和冷水在进水三通管内混合后进入水路内，通过进热水阀和进冷水阀分别调节热水流量和冷水流量，从而调节混合后液体的温度，进而实现对抛光盘温度的控制，避免抛光盘产生热胀冷缩而导致面型值不稳定，从而提升抛光盘的加工良品率。

技术领域

本实用新型涉及抛光设备领域，具体地涉及一种抛光装置。

背景技术

蓝宝石是制作蓝光LED的主要衬底材料，它是由高纯氧化铝经过拉晶、切片、研磨、倒角、退火、分选、贴片、铜抛、软抛和清洗工艺制作而成，其中铜抛是为了去除前期制程对蓝宝石晶片产生的缺陷。目前的铜抛加工是采用铜抛机进行，当铜抛机的抛光盘对晶片进行抛光时，由于摩擦会导致抛光盘的温度上升，因此现有技术采用冷水机与抛光盘进行连接，当抛光盘对晶片抛光之后，立即使用冷水机对抛光盘进行降温，以使其能够对下一晶片进行抛光。但是在摩擦升温以及冷水降温的过程中，抛光盘会由于热胀冷缩导致面型值不稳定，进而导致铜抛之后的晶片表面平坦度不达标，总厚度偏差较大，从而影响晶片生产的良品率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的铜抛机采用冷水机对抛光盘进行降温产生热胀冷缩，导致抛光盘面型值不稳定的问题，提供一种抛光装置。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种抛光装置，包括抛光盘以及进水三通管，所述抛光盘内设水路，所述水路设有进水口和出水口，所述进水三通管的一端与所述进水口连接，另两端用于分别向所述进水三通管内通入热水和冷水，并对应设有用于控制热水流量的进热水阀和用于控制冷水流量的进冷水阀，以使热水和冷水在所述进水三通管内混合后，经所述进水口进入所述水路。

优选地，所述抛光装置还包括测温装置和控制器，所述测温装置用于获取所述抛光盘的温度并发出温度信号，所述控制器用于接受所述温度信号，并根据所述温度信号控制所述进热水阀和/或所述进冷水阀的启闭。

优选地，所述测温装置为红外测温器，所述红外测温器的测线适于照射在所述抛光盘的抛光面上。

优选地，所述水路包括多个支路，多个所述支路从所述抛光盘的中心沿径向向外呈放射状排布，且多个所述支路均与所述进水口以及所述出水口连通。

优选地，每个所述支路均为U形结构，其连接所述进水口的一端靠近所述抛光盘的抛光面设置，所述支路连接所述出水口的一端远离所述抛光盘的抛光面设置。

优选地，所述水路还包括分流通道，所述分流通道沿所述抛光盘的轴向延伸设置于所述抛光盘的中心，并具有内外两层通道，其中内层通道设有所述进水口，外层通道设有所述出水口。

优选地，所述抛光装置还包括：冷水器和热水器，所述冷水器与所述进水三通管的用于通入冷水的一端相连，所述热水器与所述进水三通管的用于通入热水的一端相连。

优选地，所述抛光装置还包括出水三通管，所述出水三通管的一端与所述出水口相连，另两端分别连接所述冷水器和所述热水器，并对应设有出热水阀和出冷水阀；

所述控制器用于根据所述温度信号开启所述出热水阀和所述出冷水阀中的一个。

优选地，所述出水三通管和所述进水三通管均与所述抛光盘可拆卸地连接。

优选地，所述进水三通管连接所述进水口的一端设有调压阀。