[实用新型]一种自动移载式半导体选化剥膜设备

说明书

本实用新型涉及了一种自动移载式半导体选化剥膜设备，包括设备架；所述设备架设置有依次水平排列的操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽；所述设备架上还设置有水平移动机构、安装在水平移动机构上的升降机构；所述升降机构的升降端安装有挂架；所述挂架上设置有挂杆；所述挂杆用于挂载载板挂具；所述升降机构用于带动载板挂具升降；所述水平移动机构用于与水平移动机构配合，将载板挂具在操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽之间移载。本实用新型的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，实现载板挂具自动移载，自动升降至化学处理槽内剥膜之功能，提高工作效率，减少人工处理环节，改善工安风险。

技术领域

本实用新型涉及线路板制造领域，特别是涉及一种自动移载式半导体选化剥膜设备。

背景技术

在半导体载板制造之选化剥膜制程时，因光阻膜太厚，采用传统连续剥膜机无法将光阻膜完全剥离，造成产品不良或需重工处理。传统方式为采用人工处理方式，需要人工将挂载产品的挂具放入化学处理槽内进行处理。因化学处理槽药水具有腐蚀性，且部分槽体内为高温药水，此步骤采用人工方式费时费力且有工安隐患。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种自动移载式半导体选化剥膜设备，实现载板挂具自动移载，自动升降至化学处理槽内剥膜之功能，提高工作效率，减少人工处理环节，改善工安风险。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种自动移载式半导体选化剥膜设备，包括设备架；所述设备架设置有依次水平排列的操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽；所述设备架上还设置有水平移动机构、安装在水平移动机构上的升降机构；所述升降机构的升降端安装有挂架；所述挂架上设置有挂杆；所述挂杆用于挂载载板挂具；所述升降机构用于带动载板挂具升降；所述水平移动机构用于与水平移动机构配合，将载板挂具在操作室、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽之间移载。

进一步的，所述挂架为两个，挂架上开设有开口朝上的固定槽；所述挂杆放置在两个固定槽上。

进一步的，所述载板挂具的顶端设置有挂钩；所述载板挂具通过挂钩挂载在挂杆上。

进一步的，所述升降机构包括固定在水平移动机构的移动端的水平移动板、安装在水平移动板上的竖向的丝杆、与丝杆顶端传动连接的升降电机、与丝杆配合的丝杆螺母、固定在丝杆螺母上的竖向移动板；所述挂架安装在所述竖向移动板上。

进一步的，所述水平移动机构包括安装在设备架上的水平传送架、用于驱动水平传送架水平移动的平移电机、安装在水平传送架上的连接架；所述水平移动板固定安装在连接架上。

进一步的，所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有加热器和冷却器，用于为第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽提供所需的温度条件。

进一步的，所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有温控保护器。

进一步的，所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有气体搅拌装置。

进一步的，所述第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内还分别设置有液位保护器。

进一步的，所述设备架上还安装控制模块，水平移动机构和升降机构上设置有多个限位传感器；所述控制模块与多个限位传感器、水平移动机构、升降机构、第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽控制连接；控制模块被配置为利用限位传感器，控制水平移动机构、升降机构将载板挂具移动至所需位置；还被配置为对第一剥膜槽、第二剥膜槽、水洗清洗槽内的处理环境进行参数化控制。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种自动移载式半导体选化剥膜设备，实现载板挂具自动移载，自动升降至化学处理槽内剥膜之功能，提高工作效率，减少人工处理环节，改善工安风险。

附图说明

图1为实施例的一种自动移载式半导体选化剥膜设备的主视示意图；