[实用新型]一种便携式气体微小流量校准装置

权利要求书

1.一种便携式气体微小流量校准装置，其特征在于，所述装置包括质量流量控制器、标准层流流量计和测量控制单元，所述标准层流流量计包括层流传感元件、温度变送器、差压变送器和压力变送器，所述测量控制单元与计算机通讯连接；

所述质量流量控制器与所述测量控制单元通讯连接，所述质量流量控制器经由管路与所述层流传感元件流体连通，所述质量流量控制器在所述计算机的控制下自动调节传送至所述层流传感元件的气体的流量；

所述温度变送器、所述差压变送器和所述压力变送器分别与所述测量控制单元通讯连接；

所述质量流量控制器、所述测量控制单元、所述温度变送器、所述差压变送器以及所述压力变送器固定设置在所述装置中，所述层流传感元件可拆卸地设置在所述装置中，所述层流传感元件包括不同规格的多个层流传感元件，所述多个层流传感元件适用于感测不同的气体流量范围；

在使用所述装置前，根据预期的流量校准范围，从所述多个层流传感元件中选择一个规格最匹配的层流传感元件安装在所述装置中。

2.根据权利要求1所述的便携式气体微小流量校准装置，其特征在于，所述装置还包括用于稳定所述质量流量控制器的入口压力的调压阀。

3.根据权利要求2所述的便携式气体微小流量校准装置，其特征在于，所述质量流量控制器包括第一质量流量控制器和第二质量流量控制器；所述调压阀包括第一调压阀和第二调压阀；所述第一质量流量控制器的流量调节范围大于所述第二质量流量控制器的流量调节范围；所述第一质量流量控制器与所述第二质量流量控制器采用两个支路并联设置，所述第一调压阀设置在所述两个支路上游的总管路上，所述第二调压阀设置在所述第二质量流量控制器的支管路上。

4.根据权利要求3所述的便携式气体微小流量校准装置，其特征在于，所述第二调压阀的压力调节范围与所述第二质量流量控制器的流量调节范围匹配；所述第一调压阀的压力调节范围与所述第一质量流量控制器的调节范围匹配。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的便携式气体微小流量校准装置，其特征在于，所述装置还包括设置在所述调压阀的上游管路中的过滤器。

6.根据权利要求5所述的便携式气体微小流量校准装置，其特征在于，所述装置还包括设置在所述过滤器的上游管路中的入口阀。

7.根据权利要求1所述的便携式气体微小流量校准装置，其特征在于，所述多个层流传感元件的外形完全相同。

8.根据权利要求7所述的便携式气体微小流量校准装置，其特征在于，所述多个层流传感元件中的每个层流传感元件的毛细管长度相同，并且所述多个层流传感元件中的每个层流传感元件的毛细管直径和数量不同。

9.根据权利要求1所述的便携式气体微小流量校准装置，其特征在于，在利用所述装置进行校准时，校准采用现场气源，被校准的流量计通过管路与所述装置的入口连接，工作气体流经所述被校准的流量计和所述装置，分别读取所述被校准的流量计和所述装置上的流量数据，通过对读取到的流量数据进行数据处理以实现对被校准的流量计的校准。

10.根据权利要求9所述的便携式气体微小流量校准装置，其特征在于，所述被校准的流量计为量程范围为20mL/min至2000mL/min的热式质量流量计。