[实用新型]晶棒检测辅助装置有效
申请号: | 202123336739.4 | 申请日: | 2021-12-27 |
公开(公告)号: | CN216747458U | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 万建军;宋亚滨;翟虎;陆继波;陈桥玉;赵亨山 | 申请(专利权)人: | 甘肃旭晶新材料有限公司;北京远大信达科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 吴瑛 |
地址: | 735000 甘肃省酒泉市肃州区*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 辅助 装置 | ||
1.一种晶棒检测辅助装置,其特征在于,包括主动辊(1)、从动辊(10)以及驱动件(3),所述主动辊(1)与所述从动辊(10)相互平行且间隔设置,以在两者之间形成供晶棒平行放置的空间,且使晶棒的两侧分别抵接于所述主动辊(1)和所述从动辊(10),所述驱动件(3)用于驱动所述主动辊(1)转动。
2.根据权利要求1所述的晶棒检测辅助装置,其特征在于,所述主动辊(1)和所述从动辊(10)均包括转轴(4)和套设在转轴(4)上的胶辊(5),所述转轴(4)的两端伸出所述胶辊(5),所述胶辊(5)适于抵接所述晶棒。
3.根据权利要求2所述的晶棒检测辅助装置,其特征在于,所述晶棒检测辅助装置还包括基座(2),所述主动辊(1)和所述从动辊(10)均可转动地设置在所述基座(2)上。
4.根据权利要求3所述的晶棒检测辅助装置,其特征在于,所述基座(2)包括沿所述主动辊(1)和所述从动辊(10)的轴向间隔设置的两个安装座(6),两个所述安装座(6)之间形成适于容纳所述胶辊(5)的空间,且每个所述转轴(4)的两端均分别与对应的所述安装座(6)可转动相连。
5.根据权利要求4所述的晶棒检测辅助装置,其特征在于,每个所述安装座(6)上均设有两个用于连接对应所述转轴(4)的轴承(7)。
6.根据权利要求4所述的晶棒检测辅助装置,其特征在于,每个所述安装座(6)均设有适于容纳晶棒的凹槽(9),且所述凹槽(9)位于所述主动辊(1)和所述从动辊(10)之间。
7.根据权利要求4所述的晶棒检测辅助装置,其特征在于,所述基座(2)还包括底座(8),所述底座(8)用于设置两个所述安装座(6)。
8.根据权利要求1-7中任意一项所述的晶棒检测辅助装置,其特征在于,所述驱动件(3)为与所述主动辊(1)连接的手轮。
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