[实用新型]一种晶圆用压力喷淋装置

权利要求书

1.一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于包括喷洒壳、流砂管、固定座、出流板、观察镜、挡板、六角螺母，所述喷洒壳上侧设置有流砂管，所述流砂管外侧套装有固定座，所述喷洒壳右侧设置有出流板，所述出流板内开设有出流孔，所述喷洒壳内通过螺栓安装有挡板，所述喷洒壳下侧开设有凹槽，且喷洒壳的凹槽外侧设置有螺纹孔，所述凹槽内设置有观察镜，所述螺纹孔内设置有六角螺母。

2.按照权利要求1所述的一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于所述喷洒壳通过六角螺母与外界固定架固定。

3.按照权利要求1所述的一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于所述挡板与喷洒壳成45°至60°斜角，所述挡板为滤网型结构。

4.按照权利要求1所述的一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于所述固定座内开设有安装孔，所述流砂管通过固定座内的安装孔与外界水箱固定连接。