[实用新型]一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置有效

专利信息
申请号: 202123387141.8 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN217493967U 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 韩立民 申请(专利权)人: 苏州子山半导体科技有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00
代理公司: 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 代理人: 夏祖祥
地址: 215000 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 等离子体 电荷 过滤 装置 工用 真空 吸盘
【权利要求书】:

1.一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置,包括装置主体(1),其特征在于:所述装置主体(1)的两侧开设有侧边夹持槽(5),所述装置主体(1)的外侧固定连接有气管接头(6),所述装置主体(1)的内侧固定连接有吸盘安装框架(7),所述吸盘安装框架(7)的内侧开设有安装槽(4),所述安装槽(4)的内侧开设有两处卡槽(3)。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置,其特征在于:所述安装槽(4)的两侧开设有导气接孔(8),所述安装槽(4)的内侧固定卡接有真空吸盘主板(2),所述吸盘安装框架(7)的外侧固定连接有四处连接管(9),所述真空吸盘主板(2)的两侧固定连接有卡块(13)。

3.根据权利要求2所述的一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置,其特征在于:所述真空吸盘主板(2)的内部开设有气孔(14),所述真空吸盘主板(2)的上端固定连接有接触板(12),所述接触板(12)的内侧固定连接有可定制柔性吸板(10),所述可定制柔性吸板(10)的四周开设有密封槽(11)。

4.根据权利要求1所述的一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置,其特征在于:所述装置主体(1)与侧边夹持槽(5)的之间通过切削的方式一体成型,所述装置主体(1)与气管接头(6)的之间设置有安装腔,所述装置主体(1)的一侧通过安装腔与气管接头(6)的内侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置,其特征在于:所述吸盘安装框架(7)与卡槽(3)、导气接孔(8)、安装槽(4)的之间通过浇铸的方式一体成型,所述装置主体(1)与吸盘安装框架(7)的之间通过焊接的方式固定连接。

6.根据权利要求3所述的一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置,其特征在于:所述真空吸盘主板(2)与接触板(12)、卡块(13)、气孔(14)的之间通过注塑的方式一体成型,所述接触板(12)的上端固定连接有可定制柔性吸板(10),所述可定制柔性吸板(10)可根据工件形状尺寸专制设计。

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