[实用新型]一种气体流量分配器

权利要求书

1.一种气体流量分配器，包括上分配器（1）和下分配器（2），所述上分配器（1）和下分配器（2）上分别设有上分配腔（3）和下分配腔（4），其特征在于，所述上分配器（1）和下分配器（2）相互靠近的一侧密封固定安装有同一个连通管（7），且上分配腔（3）和下分配腔（4）的内部均与连通管（7）的内部密封相连通，所述上分配器（1）和下分配器（2）上均开设有呈环形排布的四个均分通道（5），位于同侧的四个均分通道（5）的内部分别与上分配腔（3）和下分配腔（4）的内部密封相连通，所述上分配器（1）和下分配器（2）的外侧均开设有四个出气接口（6），且多个出气接口（6）和分别与其相对应的均分通道（5）的内部密封相连通。

2.根据权利要求1所述的一种气体流量分配器，其特征在于，所述连通管（7）的右侧密封固定安装有进气管（8），且进气管（8）的内部和连通管（7）的内部密封相连通，所述连通管（7）的右端设有进气接口（9），且进气接口（9）的内部和连通管（7）的内部密封相连通。

3.根据权利要求2所述的一种气体流量分配器，其特征在于，所述进气管（8）位于连通管（7）的右侧中心位置，且进气管（8）和连通管（7）呈垂直设置，所述进气管（8）的顶部和上分配器（1）底部的距离与进气管（8）的底部和下分配器（2）顶部的距离相一致。

4.根据权利要求1所述的一种气体流量分配器，其特征在于，所述连通管（7）的左侧内壁和右侧内壁上密封转动安装有同一个上堵板（10）和同一个下堵板（11），且下堵板（11）位于上堵板（10）的正下方，所述下堵板（11）和上堵板（10）的尺寸均与连通管（7）的内部尺寸相一致。

5.根据权利要求4所述的一种气体流量分配器，其特征在于，所述连通管（7）的右侧内壁上密封转动安装有阀杆（12），且阀杆（12）的数量设置有两个，所述上堵板（10）和下堵板（11）的后侧分别与其相对应的阀杆（12）的前侧固定安装。

6.根据权利要求5所述的一种气体流量分配器，其特征在于，两个阀杆（12）的左端均贯穿连通管（7）的左侧内壁并均延伸至连通管（7）的左侧，且两个阀杆（12）的左端均固定安装有旋柄。