[实用新型]激光打印装置

说明书

本申请公开了一种激光打印装置，该装置包括：承载平台，包括相背设置的承载面和非承载面，所述承载面用于承载待打印物体；且所述承载平台具有贯穿部分所述承载面和部分非承载面的开口；激光打印装置，位于所述非承载面一侧，用于对从所述开口中露出的所述待打印物体表面进行激光打印；其中，所述开口的内壁设置有多个吹风口，激光打印过程中产生的粉尘在所述多个吹风口的作用下被聚集后下落。通过上述方式，本申请能够去除打印过程中物体表面的粉尘，提高打印物体出货良率。

技术领域

本申请涉及激光打印技术领域，特别是涉及一种激光打印装置。

背景技术

在圆片级封装过程中，晶圆背面被激光打印后会有部分颗粒粉尘遗留在圆片背面。当圆片切割成单颗小芯片进入检片工序时，由于芯片背面遗留有白色的粉尘，导致机台判别为芯片表面异物，产品出货良率下降。

实用新型内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种激光打印装置，能够去除激光打印过程中晶圆背面残留的粉尘，以提高芯片的产出良率。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种激光打印装置，包括：承载平台，包括相背设置的承载面和非承载面，所述承载面用于承载打印物体；且所述承载平台具有贯穿部分所述承载面和部分非承载面的开口；激光打印组件，位于所述非承载面一侧，用于从对所述开口中露出的所述待打印物体表面进行激光打印；其中，所述开口的内壁设置有多个吹风口，激光打印过程中产生的粉尘在所述多个吹风口的作用下被聚集后下落。

其中，所述开口为扇形，所述开口包括依次相互连接的第一侧壁、第二侧壁和第三侧壁，且所述第三侧壁为弧形；其中，所述第一侧壁和所述第二侧壁的连接处设置有至少一个所述吹风口，所述第三侧壁上设置有多个所述吹风口；且位于所述连接处的所述吹风口的尺寸大于其余位置处的所述吹风口尺寸。

其中，所述第一侧壁和所述第二侧壁上分别设置有多个所述吹风口。

其中，在所述非承载面至所述承载面的第一方向上，所述第一侧壁、所述第二侧壁和所述第三侧壁上分别设置有间隔排布的多排吹风口组，且每排吹风口组内设置有沿第二方向间隔排布的多个所述吹风口；其中，所述第一方向和所述第二方向垂直。

其中，在所述第一方向上，所述第一侧壁或所述第二侧壁或所述第三侧壁上相邻两排所述吹风口组之间相互对齐设置。

其中，所述第一侧壁上最远离所述非承载面的所述吹风口组与所述非承载面之间具有第一间隔，所述第二侧壁上最远离所述非承载面的所述吹风口组与所述非承载面之间具有第二间隔，所述第三侧壁上最靠近所述非承载面的所述吹风口组与所述非承载面之间具有第三间隔；其中，所述第三间隔大于所述第一间隔以及所述第二间隔。

其中，所述激光打印组件包括：激光发射器；透明保护罩，罩设在所述激光发射器的出射端。

其中，所述激光打印装置还包括：吸尘组件，用于收集下落后的所述粉尘，包括多个吸风管和集尘箱；其中，所述吸风管的一端位于非承载面一侧且朝向所述开口，所述吸风管的另一端与所述集尘箱连通。

其中，所述激光打印装置还包括：旋转组件，位于所述承载面背离所述非承载面一侧，用于带动所述待打印物体旋转。

其中，所述激光打印装置还包括：固定平台，间隔设置于所述承载平台的非承载面一侧，所述激光打印组件和所述吸尘组件固定设置于所述固定平台和所述承载平台之间；外壳，环绕设置在所述固定平台和所述承载平台之间的间隙外围，且所述外壳与所述固定平台和所述承载平台的侧面抵顶。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请通过在圆片承载平台设置开口，以对从开口中露出的待打印物体表面进行激光打印，并在开口内壁设置多个吹风口以去除打印过程中物体表面的粉尘，并将粉尘聚集后吹往边缘一侧，由吸尘组件收集吹落的粉尘，避免掉落的粉尘对打印过程产生影响，提高了打印物体出货良率。

附图说明