[实用新型]一种石英坩埚定位转运单元有效
申请号: | 202123399836.8 | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN216424503U | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 袁新;周勇;吴伟华;方志远;郎俊 | 申请(专利权)人: | 内蒙古鑫晶新材料有限公司 |
主分类号: | B62B3/04 | 分类号: | B62B3/04 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 郭建军 |
地址: | 014000 内蒙古自治区包头*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 坩埚 定位 转运 单元 | ||
1.一种石英坩埚定位转运单元,其特征在于:包括用于对石英坩埚承载、上料的承载单元,及用于转移的移动单元,承载单元设于移动单元之上;承载单元包括定位板(1)及设置于定位板(1)之间交错设置的联动辊(2)与从动辊(3),从动辊(3)、联动辊(2)与定位板(1)转动配合;联动辊(2)的端部延伸出定位板(1)外侧通过联动件传动连接,在定位板(1)外侧设有对联动辊(2)制动、锁紧的锁紧装置。
2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚定位转运单元,其特征在于:所述锁紧装置包括锁紧座(4)及与端部的联动辊(2)连接的锁止齿轮(5),锁紧座(4)设于定位板(1)外侧与锁止齿轮(5)对应位置;锁止杆(6)与锁紧座(4)滑动配合;锁止杆(6)靠近锁止齿轮(5)一端设于用于卡接锁止齿轮(5)的锁止头(7),锁止杆(6)的另一端设有垂直于锁止杆(6)的止挡杆(8);在锁止头(7)与锁紧座(4)之间的锁止杆(6)上穿有压缩弹簧(9),锁紧座(4)靠近锁止杆(6)一端形成有凸出台(10)。
3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚定位转运单元,其特征在于:所述联动件包括联动齿轮(11)与传动齿轮(12),联动齿轮(11)与联动辊(2)连接;传动齿轮(12)通过轴、环套等转动配合于定位板(1)外侧;通过传动齿轮(12)使相邻的联动齿轮(11)同转动方向联动。
4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚定位转运单元,其特征在于:相邻联动齿轮(11)之间的传动齿轮(12)为奇数个。
5.根据权利要求2所述的一种石英坩埚定位转运单元,其特征在于:所述联动件包括联动齿轮(11)与同步链(13),联动齿轮(11)与联动辊(2)连接,联动齿轮(11)之间通过同步链(13)传动连接。
6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚定位转运单元,其特征在于:所述移动单元包括底座(14)和底座(14)之下的锁紧万向轮(15),底座(14)通过支撑架(16)与承载单元相固定。
7.根据权利要求6所述的一种石英坩埚定位转运单元,其特征在于:所述支撑架(16)内设有集沙斗(17);集沙斗(17)为无顶无底的下侧缩口空腔结构,在底座(14)上设有集沙槽(18);集沙斗(17)的下侧与集沙槽(18)相对应。
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