[实用新型]一种行星盘结构以及蒸镀设备

权利要求书

1.一种行星盘结构，其特征在于，包括：旋转盘和至少一个基片盘，每个所述基片盘与所述旋转盘之间设有第一转动连接件，所述第一转动连接件用于将所述基片盘与所述旋转盘之间转动相连，以使所述基片盘与所述旋转盘的中心轴线之间的夹角可变。

2.根据权利要求1所述的行星盘结构，其特征在于，还包括至少一个支架组件，所述支架组件连接在每个所述基片盘与所述旋转盘之间，且每个所述基片盘和所述旋转盘中的至少一个通过所述第一转动连接件与所述支架组件转动相连。

3.根据权利要求2所述的行星盘结构，其特征在于，每个所述基片盘与所述旋转盘之间设有两个所述第一转动连接件；

每个所述基片盘通过其中一个所述第一转动连接件与所述支架组件的一端转动相连，所述支架组件的另一端通过另一个所述第一转动连接件与所述旋转盘相连。

4.根据权利要求2或3所述的行星盘结构，其特征在于，每个所述支架组件包括至少一个盘架，每个所述基片盘与所述旋转盘中的至少一个通过所述第一转动连接件与所述盘架转动相连。

5.根据权利要求4所述的行星盘结构，其特征在于，每个所述支架组件包括多个盘架和第二转动连接件，相邻两个所述盘架之间通过所述第二转动连接件转动相连。

6.根据权利要求5所述的行星盘结构，其特征在于，每个所述支架组件中的所述盘架的数量为两个，两个所述盘架之间通过所述第二转动连接件转动相连，其中一个所述盘架的一端与所述旋转盘通过所述第一转动连接件转动相连，另一个所述盘架的一端通过所述第一转动连接件与一个所述基片盘转动相连。

7.根据权利要求5或6所述的行星盘结构，其特征在于，所述第一转动连接件和所述第二转动连接件均为转轴结构。

8.根据权利要求7所述的行星盘结构，其特征在于，还包括控制器；其中，

所述控制器与所述旋转盘连接，所述控制器用于控制所述旋转盘的旋转速度；

所述控制器与所述基片盘连接，所述控制器用于控制所述基片盘和所述旋转盘的中心轴线之间的夹角。

9.根据权利要求8所述的行星盘结构，其特征在于，所述控制器包括第一处理模块；

所述第一处理模块与所述旋转盘连接，所述第一处理模块用于控制所述旋转盘的旋转速度。

10.根据权利要求9所述的行星盘结构，其特征在于，所述控制器还包括第二处理模块，所述第二处理模块至少与每个所述第一转动连接件连接；

所述第二处理模块至少用于单独控制每个所述第一转动连接件的旋转角度。

11.根据权利要求10所述的行星盘结构，其特征在于，所述第二处理模块与每个所述第一转动连接件均连接，且所述第二处理模块与每个所述第二转动连接件均连接；

所述第二处理模块用于控制所述第一转动连接件以及所述第二转动连接件的旋转角度。

12.根据权利要求2、3、5、6或8-11任一所述的行星盘结构，其特征在于，所述支架组件为可折叠杆状结构。

13.根据权利要求12所述的行星盘结构，其特征在于，所述行星盘结构为伞状结构。

14.根据权利要求13所述的行星盘结构，其特征在于，所述基片盘的数量为多个，多个所述基片盘通过所述第一转动连接件绕着所述旋转盘间隔设置。

15.根据权利要求14所述的行星盘结构，其特征在于，所述旋转盘的顶端设置连接部。

16.根据权利要求15所述的行星盘结构，其特征在于，每个所述基片盘上设置有固定装置；所述固定装置用于固定所述基片。