[实用新型]一种封闭膜结构MEMS红外光源传感器有效
申请号: | 202123428830.9 | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN216954558U | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 徐家玉;窦云轩;王梁;钱晨;杨峰云;王水生 | 申请(专利权)人: | 中微龙图电子科技无锡有限责任公司 |
主分类号: | G01D5/26 | 分类号: | G01D5/26;B81B7/02 |
代理公司: | 北京子焱知识产权代理事务所(普通合伙) 11932 | 代理人: | 冯若愚 |
地址: | 214086 江苏省无锡市锡山经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 封闭 膜结构 mems 红外 光源 传感器 | ||
1.一种封闭膜结构MEMS红外光源传感器,包括主体(1),其特征在于,所述主体(1)的外部开设有窗口(4),所述主体(1)靠近窗口(4)的一侧设置有快速固定机构;
所述快速固定机构包括开设在主体(1)靠近窗口(4)一侧的安装槽(7),所述主体(1)靠近安装槽(7)的一侧开设有多个卡接孔(8),所述安装槽(7)顶部安装有多个弹簧(9),多个所述弹簧(9)远离安装槽(7)的一侧共同有三个定位压板(10),所述定位压板(10)的一端安装有挡板(11),所述定位压板(10)远离挡板(11)的一端安装有斜块(12),所述安装槽(7)的内部滑动连接有多个卡扣(13),多个所述卡扣(13)靠近窗口(4)的一侧共同安装有密封环(14),所述密封环(14)的内侧壁安装有膜体(15)。
2.根据权利要求1所述的一种封闭膜结构MEMS红外光源传感器,其特征在于,所述主体(1)远离窗口(4)的一侧通过螺栓安装有固定板(2),所述固定板(2)远离主体(1)的一侧安装有两个接电柱(3)。
3.根据权利要求2所述的一种封闭膜结构MEMS红外光源传感器,其特征在于,所述固定板(2)靠近窗口(4)的一侧对称安装有连接线(5),两个所述连接线(5)远离固定板(2)的一端共同安装有灯头(6),所述灯头(6)位于窗口(4)的中心位置。
4.根据权利要求1所述的一种封闭膜结构MEMS红外光源传感器,其特征在于,所述安装槽(7)的截面为环形设置,所述卡接孔(8)的直径与安装槽(7)的直径相适配。
5.根据权利要求1所述的一种封闭膜结构MEMS红外光源传感器,其特征在于,所述定位压板(10)位于相邻的两个卡接孔(8)之间,所述挡板(11)的上端面与定位压板(10)位于同一平面,所述挡板(11)的下端面低于定位压板(10)的底部。
6.根据权利要求1所述的一种封闭膜结构MEMS红外光源传感器,其特征在于,所述卡扣(13)的尺寸与卡接孔(8)的尺寸相适配,所述密封环(14)外侧的直径略大于窗口(4)的直径,所述密封环(14)内部的直径略小于窗口(4)的直径。
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